Нагревательная плита для высокоточной сушки фоторезиста HP 300

Нагревательная плита HP-300 предназначена для процессов первой и второй сушки фоторезиста в области литографии, производства МЭМС и других подобных процессов. Температурный предел по умолчанию составляет 250°C. Начальная температура и температурная кривая имеют узкие допуски, что позволяет добиться высокого качества покрытия.

Производитель: Sawatec

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Контроль температуры с цифровым отображением целевого и фактического значения
Интуитивно понятное управление при помощи тач-экрана
Функция быстрого запуска и остановки для проведения повторяющихся процессов
Автоматическое реле температуры, защита от перегрева
Поэтапный нагрев (до 20 значений)
Датчики нагрузки и расстояния для работы с подложками разных размеров
Нагревательная плита с защитным стеклом, легкая очистка
Простое выравнивание нагревательной пластины, предупреждение стекания фоторезиста
Ручная фиксация подложек с помощью вакуума
Ручная загрузка и разгрузка подложек

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации

Устройства серии НP демонстрируют прекрасные рабочие характеристики благодаря высокой равномерности и стабильности процессов. Они могут использоваться с подложками диаметром до 300 мм и толщиной до 12 мм.

Нагревательная плита закрыта защитным стеклом, что значительно облегчает ее очистку. Благодаря высокому качеству, надежной конструкции и простоте эксплуатации нагревательным плитам SAWATEC отдают выбор многие лабораториии, НИИ, опытные проекты и институты.

Высокоточные и надежные устройства поставляются в переносной корпусной или настольной версиях.


Панель управления, главный выключатель и кнопки быстрого запуска / остановки	Защитное стекло и регулируемые датчики расстояния

ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ПАРАМЕТРЫ

Температурный диапазон: температура среды до 250°C

Точность температуры: +/- 0,8°C при 100°C

Электронные датчики расстояния и нагрузки (шаг 8 мм)

Программно регулируемые датчики расстояния (шаг 0,1 мм)

ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ФУНКЦИИ (ОПЦИИ)

Программно регулируемая продувка N2, без окисления

Программно регулируемое нанесение ГМДС, оптимальная адгезия

Простой настроечный инструмент для оптимального выравнивания нагревательной пластины


Крышка с системой продувки N2	Резервуар для ГМДС и устройство контроля давления

КОНСТРУКЦИЯ И ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

Компактное исполнение для экономии места

Переносной корпус из электрополированной нержавеющей стали

Цветной тач-экран с диагональю 3,5”

Нагревательная пластина размером 350 х 350 мм из анодированного алюминия

Крышка с пневматическим управлением из анодированного алюминия

Датчики расстояния из инконеля с диаметрами 45 мм (2”), 92 мм (4 мм”), 142 мм (6”), 192 мм (8”) и 292 мм (12”)

Габаритные размеры (при открытой крышке): 424 х 750 х 1311 мм (Д х Ш х В)

Поэтапный нагрев (до 24 значений)

Вес: около 75 кг

КОММУНИКАЦИИ

230 В переменного тока 50/60 Гц (1320 Вт)

Технический вакуум, трубка Ø 6/4 мм (-0,8 бар)

Сжатый воздух (4 бара), трубка Ø 6/4 мм

Подвод N2, трубка Ø 6/4 мм

Выпускной патрубок, трубка Ø 40 мм