ОБОРУДОВАНИЕ

ПРОИЗВОДИТЕЛИ

Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300

Получить информационную брошюру

Установка спреевого нанесения iSpray-300. Нанесение фоторезистов пневматическим распылением для структур с высокой топологией и МЭМС

Производитель: Sawatec

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

рука с приводом по осям X и Y
программная обработка квадратных/круглых подложек
размер подложек до 300х300 мм
регулировка пятна распыления
опционально нагревательный стол (до 150 С) с вращением (до 6000 об/мин) или без него

Инжиниринговые услуги:

Вакуумные насосы

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации
Комплектующие
Видеопрезентация

Установка нанесения фоторезиста спреем SAWATEC iSpray-300 идеальный инструмент с ручной загрузкой, особенно в НИОКР-подразделениях и небольших производствах МЭМС. Система позволяет наносить фоторезист на поверхность глубокой развитой топологии. Специальная форсунка гарантирует минимальные размеры капли резиста, обеспечивая однородное покрытие по всей площади подложки.
Для круглых подложек до 300 мм (максимально) и квадратных подложек 12 x 12 дюймов.

Основные возможности:

Процесс контроллер с сенсорной монохромной панелью 3,5 дюйма

Задаваемые параметры: Поз. X; Y; время (сек.), время распыления (сек.), скорость по X и Y координатам

Запуск процесса нажатием клавиши "старт" или через сенсорную панель управляющего ПО

До 50 рецептов (зависит от размера каждого рецепта)

До 24 шагов в каждом рецепте

Внутренняя рабочая камера с габаритами 400x400 мм

Закрытая рабочая зона

Электр. управляемая рука с форсункой, с возможностью выбора скорости по X и Y

Выбор геометрии рецепта: круглые и квадратные подложки

Форсунка Micro 3 (0,3 мм Форсунка)

Контроллеры управления сжатым воздухом и вакуумом

Загрузка подложек: ручная

Доступные опции:

Нагреваемый стол до 150°C

Центрифуга со скоростью вращения до 6'000 об/мин.

Центрифуга с нагреваемым столом, скорость вращения до 1'500 об/мин. и нагрев до 150°C

Установку можно сконфигурировать для одной подложки с различными столами:

Обычный стол
Стол с центрифугой. Это позволяет распылять не только по X и Y, но и в любом направлении.
Стол с центрифугой и нагревом. Это позволяет и распылять, и сушить за один цикл.

Геометрия перемещения распыления:

Основные функции:

Область распыления:	400x400 mm
Объем распыления:	Прибл. 100 мл для одного цикла
Вязкость резиста:	0.3 to 25cSt (μPas)
Сопло:	Размер капли >7 микрон
Управление:	Контроллер с сенсорной панелью. До 50 рецептов с 24 шагами в каждом.

Требования к подключению:

Электричество:	230 VAC 50/60Hz, 10A
N2 для распыления:	Ø 6/4mm
Сжатый воздух:	Ø 6/4mm (6 bar)
Подключение вытяжки:	Ø 125mm (260m3/h)
Температура окружающего воздуха:	+4 ... +60°C

Размеры и вес:

85x75x221cm (Ш/Д/В)
220 кг

Дизайн:

Корпус:	Рама из нержавеющей стали
Рабочая чаша:	Нержавеющая сталь
Двери:	Стекло для наблюдения за процессом

Габариты:

Прецизионные дозирующие помпы Sawatec

Процесс нанесения фоторезиста на установке Sawatec iSpray-300

Оборудование для полного цикла производства

Sawatec HP 150

Небольшие температурные ...