Комбинированная установка для нанесения и сушки фоторезиста Sawatec SM-200/HP-200 duo

Комбинированная система SM-200/HP-200 duo от SAWATEC сочетает в себе модуль центробежного нанесения покрытия и нагревательную плиту. Устройства линейки Duo демонстрируют убедительные рабочие качества благодаря своей надежной конструкции и гибким возможностям совмещения с другими системами даже при обработке подложек разных размеров.

Комбинированные системы идеально подходят для лабораторий, НИИ и пилотных проектов и доступны в компактном размере мобильных шкафов.

Центробежный модуль нанесения SM-200

Модуль SM-200 является прекрасным выбором благодаря высокой степени равномерности нанесения, стабильности и воспроизводимости результатов в сочетании с простой и удобной эксплуатацией. Инновационная система RCCT (технология закрытой круглой камеры) эффективно уменьшает завихрение воздуха над вращающейся подложкой и улучшает равномерность нанесения, поскольку атмосфера в закрытой камере быстрее насыщается растворителями, благодаря чему резист медленнее засыхает. Это позволяет добиться более однородного покрытия при значительной экономии материалов.

Характеристики (базовая конфигурация)

• До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой
• Функция быстрого запуска для повторных процессов
• Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели
• Технологические параметры: скорость, ускорение, время
• Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, против часовой стрелки)
• Система RCCT (круглой закрытой камеры)
• Динамический манипулятор для работы с 4 линиями
  подачи материала
• Загрузка и разгрузка подложек вручную
• Фиксация подложки с помощью вакуума и защитных
  блокировок
• Звуковой сигнал после завершения обработки

Параметры

• Скорость: от 1 до 6 000 об/мин +/-1 об/мин. (опционно 10 000 об/мин. для подложек меньше 8")
• Расхождение заданной и фактической скорости < +/-1%
• Ускорение: 0 – 6 000 об/мин. за 0,6 сек
• Задержка: 6 000 об/мин – 0 за 0,6 сек.
• Время обработки до 9 999 секунд с шагом 0,1 сек
• Продолжительность дозирования 999 сек/сегмент
  

Дополнительные функции (опции)

Автоматическая очистка сопел

• Автоматическая система нанесения, стеклянный шприц CDS-50 объемом 50 мл
• Автоматическая очистка сопел с помощью насоса FP-20 для подачи растворителя
• Дополнительная линия нанесения с точным дозирующим насосом GSP-98
• Ножной переключатель пуск/стоп для простоты эксплуатации (длина кабеля 1,8 м)
• Система удаления наплывов резиста с верхней стороны (EBR круговая, EBR круговая и линейная)
• Защитная втулка чаши из PE или алюминия
• Устройство для совмещения полупроводниковых пластин 2"-8" (круглых)
  

Дополнительная линия нанесения с дозирующим насосом		Ножной переключатель пуск/стоп

Нагревательная плита HP-200

Нагревательная плита HP-200 предназначена для первой и второй сушки фоторезиста в процессах литографии и МЭМС. Температурный диапазон по умолчанию - до 250°C. Заданная температура и температурный профиль имеют незначительное расхождение, что позволяет добиться высокого качества нанесения резиста. Устройства линейки НР демонстрируют убедительные рабочие качества благодаря высокому уровню равномерности нагрева и высокоточной воспроизводимости процессов. Они могут использоваться для подложек диаметром до 200 мм толщиной максимум 18 мм.

Характеристики (базовая конфигурация)

Регулируемые штифты зазора и защитное стекло

Крышка с продувкой N2 и праймированием ГМДС

• постепенное наращивание нагрева (20 шагов программы)
• Зазор и загрузочные штифты программируются под разные размеры подложек
• Нагревательная плита с защитным стеклом, легкая очистка
• Простое выравнивание нагревательной плиты предупреждает стекание фоторезиста
• Простое и доступное конфигурирование с помощью сенсорной панели
• Фиксация подложки вручную с помощью вакуума
• Загрузка и разгрузка подложек вручную

Параметры

• Диапазон температуры: температура окружающей
  среды до 250°C
• Точность температуры: +/- 0,6°C при 100°C
• Штифты зазора и загрузки с электрическим приводом
  (шаг 8 мм)
• Регулируемые штифты зазора с программным управлением
  (с шагом 0,1 мм)
  

Дополнительные функции (опции)

• Продувка азотом с программным управлением, отсутствует окисление
• Праймирование ГМДС с программным контролем, оптимизация
  склеивания
• Простая настройка для получения оптимального совмещения
  нагревательной плиты
  

Конструкция и размеры

• Компактный, эргономичный дизайн
• Сенсорная панель с цветным дисплеем 3,5"
• Мобильный шкаф из электрополированной нержавеющей стали
• Размер шкафа: 1200 x 750 x 2331 мм (Д x Ш x В)
• Вес прим. 240 кг
  

SM-200

• Чаша из PETP для высокой степени совместимости материалов
• Отсутствует разбрызгивание резиста благодаря специальному щиту из PETP
• Высокоточный, высокодинамичный серводвигатель переменного тока
  

HP-200

• Нагревательная плита: 250 x 250 мм, анодированный алюминий
• Крышка: пневмопривод, анодированный алюминий
• Зазорные штифты изготовлены из Inconel Ø 1 мм, диаметры круга штифтов Ø 45 мм (2") / Ø 92 мм (4") / Ø 142 мм (6") / Ø 192 мм (8")
  

   
 

Коммуникации

• 230 В переменного тока 50/60 Гц 15A (1200 Вт)
• Разъем для ножного переключателя
• Технический вакуум, трубка Ø 6/4 мм (-0,8 бар)
• Сжатый воздух, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
• Разъем N2, трубка Ø6/4 мм
• Разъем ГМДС, трубка Ø6/4 мм
• Подключение вытяжки SM Ø76 мм (40–60 м3/ч)
• Подключение вытяжки HP Ø 40 мм