Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM150

Лабораторная центрифуга предназначена для нанесения резистов с помощью центрифугирования до 10'000 об/мин. Простая, но в то же время надежная модель лабораторной центрифуги для нанесения резиста идеальна для исследовательских работ и небольших производств.

Лабораторная центрифуга может поставляться в двух версиях: в собственном корпусе и в "разобранном" виде на несколько модулей  для установки в уже существующую у пользователя столешницу.

Лабораторная центрифуга для нанесения резистов в собственном корпусе Sawatec SM150

Лабораторная центрифуга для нанесения резистов модульная Sawatec SM150

Возможности лабораторной центрифуги:

• Лабораторная центрифуга оптимизирована для университетов, лабораторий и пилотных проектов

• Вставляемый модуль для сушки позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром

• Возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический

• Легкая замена столика без использования специальных приспособлений

• Чаша сделана разборной, чтобы можно было легко ее очищать

• Дисплей с полным контролем процесса

• Возможно устанавливать до 10 пар установок скорость/время

• Контроллер с возможностью запоминания до 10 рецептов

• Крышка, закрываемая вручную, сделана из полиэтилена. Потоком воздуха можно управлять.

• Чаша сделана из полиоксиметилена (POM), возможно производство и из другого материала по дополнительному запросу

Лабораторная центрифуга стандартно имеет 10'000 об/мин, укомплектована крышкой и чашей из полиоксиметилена (пластика). Дополнительно можно заказать опции:

• Чаша из анодированного алюминия или других материалов

• Полуавтоматическая система дозирования (стеклянный картридж 50 мл) с ручным кронштейном

• Полуавтоматическая подающая система для резистов

• Педаль старт/стоп (длина кабеля 1.8 м)

• Ручная подача азота (N2) для продувки рабочей камеры

• Клапан обратного потока

• Покрытие всех внутренних покрытий тефлоном для легкой очистки

• Вакуумные и механические держатели пластин и подложек, в том числе кусочков

• Вакуумный насос для модуля SM-150

• Вставки в чашу для легкого удаления отработанных резистов

• Инструмент для центрирования круглых подложек 2"- 6"

     

Виды подложкодержателей


Для получения стабильных результатов системы Sawatec используют специальные держатели из различных материалов. В зависимости от применения, используются цельный или составной. Для того, чтобы гарантировать, что обратная сторона подложки не загрязнится, необходимо выбрать оптимальный размер держателя, учитывая особенности обрабатываемой подложки. Замена держателей очень проста и не требует каких-либо инструментов.

• Вакуумный держатель для кусочков

• Держатель для пластин от 1 до 3-х дюймов (вакуумный)

• Держатель для пластин от 4-х до 6 дюймов (вакуумный)

• Держатель для пластин 100x100 мм (4”x4”) (вакуумный)

• Держатель для пластин 125x125 мм (5”x5”) (вакуумный)

• Держатели по индивидуальному дизайну

Лабораторная центрифуга SM 150 - надежная и недорогая - идеальный инструмент для НИОКР и небольших производств

Технические характеристики и требования для подключения лабораторной
центрифуги для нанесения резиста:

• Скорость вращения 0-10’000 об/мин, точность вращения +/-1 на 6000 об/мин

• Ускорение 80-500 rad/s2

• Температура окружающего воздуха от 4 до 60°C

• Размеры (ШхДхВ) 510 x 350 x 403 мм

• Вес 29 кг

• Электричество ~ 230 В / 50/60 Гц

• Вакуум -0.5 бар, Ø 6/4 мм

• Давление 5 бар, Ø 6/4 мм

• Вытяжка воздуха (38 мм), 20-50 м3/ч

• Слив Ø 12 мм

Технические характеристики

• Диапазон скоростей вращения: от 0 до 10'000об/мин +/-1 об/мин
• Ускорение: 0 – 8,000об/мин за 0.8 с. / 0 – 10,000 об/мин за 1 с.¹⁾
• Торможение: 10,000 об/мин – 0 за 2.5 с. / 8,000 об/мин – 0 за 0.8 с.¹⁾
• Время процесса до 2376 секунд
• Время дозирования 99 секунд / сегмент

¹⁾ В зависимости от размера подложки и типа подложкодержателя


Размеры и габариты

Настольная SM-150-BT	Встраиваемая SM-150-BM
• Компактный, эргономичный дизайн  • Чаша системы изготовлена из фторопласта для высокой степени совместимости материалов  • Защита от разбрызгивания резиста системой улавливания с воротником из фторопласта  • Прозрачная крышка из стекла  • 3,5 " цветной сенсорный экран  • Прецизионный, высокодинамичный серводвигатель переменного тока
• Электрополированный корпус   из нержавеющей стали   • Корпус: 350 х 510 х 403 мм (Д х Ш х В)   • Вес: 29 кг	• Монтажный модуль: 300 х 300 х 368mm (Д х Ш х В)  • Монтажная панель: 320 х 166 х 50 мм (Д х Ш х В)  • Вес: 20кг

Требуемые подключения


• 230В переменного тока, 50/60Гц, 10A
• Разъем для подключения педали
• Технический вакуум, трубка Ø6/4мм (-0.8 атм.)
• Сжатый воздух или N2, труба Ø6/4мм (3 атм.) (необходимо только вместе с системой дозирования)
• Дренажный разъем Ø12мм
• Версия BT – вентиляция разъем Ø38мм (20-50м3/ч)
• Версия BM – вентиляция разъем Ø25мм (20-50м3/ч)