Установка спреевого нанесения резиста SUSS AS 8/12

Уникальная система нанесения спреем

Производитель: SUSS MicroTec

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Покрытие по сложной топографии
Лучшее покрытие внешних углов без скапливания резиста во впадинах
Оптимальная репродуктивность и чистота процесса
Покрытие стенок с уклоном до 90 градусов без стекания резиста
Непревзойденная равномерность покрытия

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Покрытие сложной топографии - ключ к современным технологиям

Рисунок: /upload/oborudovanie/nanesenie-proyavlenie-i-sushka-fotorezista-i-drugikh-sostavov/altaspray-/altaspray9.jpg

Процессы изготовления 3D-микроструктур обычно можно найти в таких областях, как микроэлектромеханических системах (MEMS), оптических микроэлектромеханических системах (MOEMS), сложно-структурных полупроводниках, а также корпусировании. Они также оказывают значительное влияние на остальные области полупроводниковой индустрии. Технологии изготовления датчиков давления, датчиков веса, микрозеркал имеют 3D-структуры, имея шаги топографии от нескольких микрон до 600 и более.

	Успешное покрытие пленкой резиста подложек со сложной топографией
	Бампы для склейки пластин (бампинга)
	Пьезо-мотор для MEMS
	Линзы для MOEMS

Для покрытия таких топографически сложных структур обычное нанесение с помощью центрифуги демонстрирует неизбежные проблемы, возникающие из-за гравитации и потоков резиста, делающие невозможным равномерное покрытие крутых уклонов и острых краев топографии.

Компания SUSS MicroTec разработала уникальную систему нанесения спреем AltaSpray, которая успешно преодолевает эти ограничения. AltaSpray может наносить резисты высокого разрешения на различные 3D-структуры, обеспечивая максимально равномерное покрытия таких сложных участков, как 90-градусные углы, протравленные КОН впадины, V-образные углы или линзы.

Результаты, достигнутые с помощью системы нанесения резистов спреем AltaSpray:

Тестовая структура с большой разнородностью ориентации и вариацией топографии до 200 микрон	Сенсор MEMS с вариацией топографии в 200 микрон

Сенсор MEMS с негативным срезом на КОН-протравленной кремниевой пластине	Однородное покрытие на КОН-протравленной стенке с вариацией топографии в 200 микрон

Чтобы достичь таких результатов, как показаны на изображениях, потребовалось внедрение нескольких новых технологий:

Во-первых, использование оптимизированного распылительного сопла позволило полностью контролировать распыление на всей площади пластины, независимо от ее размера

Во-вторых, покрытие пластины с движением подающей руки по осям x и y оптимизирует равномерность распыления. Такой способ передвижения руки увеличивает гибкость процесса и делает возможной легкую адаптацию на различные площади подложек и их формы

В-третьих, точная установка делает процесс покрытия повторяемым с желаемой толщиной слоя

В-четвертых, оптимизированная последовательность процесса, включая нагрев платины, позволяет добиться лучшей равномерности

Модуль AltaSpray может монтироваться как в отдельном небольшом корпусе Delta, так и входить в автоматическую кластерную установку Gamma