Полуавтоматическая система проявления, взрывной литографии и очистки пластин SUSS SD12

Рабочая платформа позволяет загружать полупроводниковые пластины размером до 300 мм, квадратные подложки размером до 230 мм x 230 мм и рамки с лентой размером до 300 мм. Возможность работы с различными материалами и процессами обеспечивает гибкость, необходимую для переключения между применениями и делает устройство лучшим выбором для проведения испытаний и мелкосерийных производств.

Непревзойденная гибкость

SD12 демонстрирует свою универсальность благодаря способности работать с различными типами подложек с помощью оптимизированных держателей. Система SD12 позволяет обрабатывать даже хрупкие подложки (например, InP, GaAs). Благодаря специальным инструментам и широкому выбору легко настраиваемых технологических параметров система SD12 подходит для различных процессов с применением растворителей. Программируемые параметры, такие как шаг процесса по времени, скорость вращения, ускорение и замедление, положение распыляющей руки и передвижение руки дают возможность оптимизировать рабочий процесс, что приводит к стабильным и воспроизводимым результатам. Благодаря совершенным технологиям нанесения SUSS MicroTec платформа SD12 эффективно справляется с процессами проявления, взрывной литографии и промывки.

Совершенные технологии нанесения

SD 12 имеет широкий ряд технологий нанесения для различных требований процессов. Среди доступных процессов:

от простого налива лужей или спреевого проявления до взрывной литографии, для которой, наряду с наливом для вымачивания и финальной промывки, требуется высоконапорное распыление для отслаивания резиста и металла. Также доступно выполнение специальных процессов, таких как отмывка от клея полупроводниковых пластин, смонтированных на рамке, при которых может потребоваться использование мегазвукового преобразователя для получения оптимальных результатов очистки. Все указанные технологии могут быть сконфигурированы на распыляющей руке системы SD12.

Умная система нанесения реактивов на основе растворителя

Платформа SD12 специально создана для работы с материалами на основе растворителя. Все детали, вступающие в контакт с химическими веществами, изготовлены из устойчивых материалов. Слив можно подключить к канализации или специальным канистрам. Материалы безопасно хранятся в специальных резервуарах, оснащенных вытяжкой, датчиком протечек и газовым датчиком. Системы контроля расхода и регуляторы давления обеспечивают контроль реактивов. В качестве опции возможен контроль температуры реактива для получения надежных и оптимальных результатов процесса. Для уменьшения общего расхода реактивов возможна установка системы рециркуляции.

Простая и безопасная эксплуатация

Система SD12 проста в эксплуатации и обслуживании. Информацию о технологических параметрах и материалах можно вывести на экран одним нажатием кнопки. программируемые рецепты значительно ускоряют рабочий процесс и повышают воспроизводимость результатов. Все детали находятся в легкой доступности для работы и обслуживания устройства. Более того, система создана с особым упором на безопасность эксплуатации. Герметичная рабочая камера с автоматической стеклянной дверцей создает закрытую производственную среду и облегчает управление процессом. Датчики блокировки гарантируют безопасную работу с устройством.

Базовая конфигурация системы
Управление	Промышленный ПК (Windows 7) с сенсорным экраном
Камера	нержавеющая сталь
Распыляющая рука	положение и скорость регулируются
Количество распыляющих линий на руке	макс. 6 (динамическое распыление)
Кол-во распыляющих сопел	макс. 3 (статическое распыление) на стенке камеры
Слив	подключение к зданию
Вытяжка	Рабочая камера (подключение 100 мм) Шкаф с материалами (подключение 100 мм) Электрический шкаф (подключение 100 мм)
Программное обеспечение
Пользовательский интерфейс	SUSS MMC
Кол-во рецептов	> 10 000
Кол-во шагов процесса	макс. 40
Программируемые параметры процесса	Время шага Скорость вращения Ускорение/ замедление Активное сопло Положение и скорость руки Функция закольцованного повтора
Система безопасности
Дверца	Защитное стекло с датчиком блокировки
Модуль	Датчик протечки Газовый датчик
Вытяжка	Датчик расхода Датчик перепада давления
Требования и размеры
Коммуникации	Азот 4,5 бар (труба 10 мм) Сжатый воздух 5,5 бар (труба 10 мм) Вакуум -0,8 бар (труба 10 мм) Питание 3x 400 V + N + PE
Размеры	Ширина 1200 мм Глубина 795 мм Высота 1278 мм
Подложки
Размер полупроводниковых пластин	от 2" до 300 мм
Подложки	2" х 2" до 230 мм х 230 мм
Рамки с лентой	для пластин до 300 мм
Заготовки	под заказчика
Технологии распыления/сопла
Налив струей
Веерное распыление
Бинарные сопла
Программируемые высоконапорные
Ультразвуковой преобразователь
Промывка задней стороны
Дополнительные функции
Различные держатели
Температурный контроль материала
Переподключение слива
Сливные канистры и поддон
Блок хранения материалов
Сейсмозащита