ОБОРУДОВАНИЕ

ПРОИЗВОДИТЕЛИ

Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8

Эти системы разработаны специально для нанесения резиста в лабораторных условиях и выпускаются в двух вариантах - настольном, в собственном корпусе, и интегрируемом в столешницу. Центрифуги обеспечивают равномерное, точное и воспроизводимое нанесение резиста на полупроводниковые пластины, а также проявление фоторезиста на засвеченных пластинах. Контроль процессом осуществляется при помощи сенсорного дисплея и имеет интуитивно понятный интерфейс. На центрифугах возможно нанесение резиста не только на круглые полупроводниковые пластины, но и на квадратные, прямоугольные, а также неправильной формы

Производитель: SUSS MicroTec

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Нанесение центрифугированием
Проявление наливом
Сушка при помощи вращения при одновременной подаче азота
Регулируемое положение шприца при подаче резиста обеспечивает как подачу резиста как в центр пластины, так и на края
Проявление наливом улучшается путем колебаний пластины, что также сокращает время проявления
Возможна применение сопла для удаления краевого валика
Сенсорный дисплей для легкого ввода информации
Снимаемая чаша для быстрого переключения между процессами, что предотвращает перезагрязнение
Двигатель с полым штоком и вакуумным накопителем
Емкость для отработанного резиста или проявителя спереди установки для быстрого доступа и визуального контроля наполняемости

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации
Видеопрезентация

Платформа LabSpin SUSS MicroTec‘s представляет собой последнее поколение систем нанесения/проявления фоторезиста с ручным управлением, разработанных специально для лабораторий и НИИ. Система LabSpin предназначена для работы с целым рядом химических веществ и обеспечивает однородные, точные и воспроизводимые результаты нанесения благодаря улучшенному дизайну рабочей камеры.

ИДЕАЛЬНОЕ РЕШЕНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ЛАБОРАТОРНЫХ УСЛОВИЯХ И ПРОЦЕССОВ ПРОЯВЛЕНИЯ

Ручная система нанесения и проявления фоторезиста Suss LabSpin 6/8

Системы LabSpin доступны в двух версиях для работы с пластинами до 150 мм или 200 мм в виде настольной системы и в виде модуля, встраиваемого в стол для жидкостной химической обработки. Они характеризуются надежным понятным дизайном, который обеспечивает комфортную и стабильную эксплуатацию. Сочетание технических деталей, например стеклянная крышка для максимальной химической устойчивости, съемная чаша для простоты очистки и особый дизайн камеры «без брызг», делает эту серию уникальной.

LabSpin6 BM (встраиваемая система) для
установки в стол для жидкостной химической
обработки.

Дизайн всего устройства, включая конструкцию рабочей камеры и итоговое качество нанесения, основаны на проверенной опытом компании SUSS MicroTec технологии.

Установки нанесения резиста LabSpin могут обрабатывать целый ряд подложек, включая круглые и квадратные, а также детали благодаря стандартным и изготовленным по индивидуальному заказу держателям. Небольшое основание требует минимального свободного пространства.

Необходимый вакуум для держателя создается внутри установки с помощью сопла Вентури и подаваемого сжатого воздуха, поэтому необходимость в дополнительном вакуумном насосе отсутствует (оператор может изменить конфигурацию для внешней подачи вакуума).

Независимо от выбранной конфигурации в основе каждой системы LabSpin лежит признанный опыт и качество продукции компании SUSS.

Широкий выбор опций для целого ряда применений:

нанесение фоторезиста, опционно с:

шприцем или автоматической системой нанесения

системой удаления наплывов резиста с края пластин

нанесение покрытия на кромки

проявление поливом

Вам нужны	Решения LABSPIN
Широкий выбор процессов	Нанесение с помощью центрифуги Проявление поливом Сушка
Гибкость	Регулируемое положение подачи фоторезиста позволяет добиться нанесения по центру и по краям пластины Проявление поливом благодаря колебаниям держателя уменьшает время проявления Возможность удаления застывшего фоторезиста с краев пластины
Простота эксплуатации	ПО с сенсорной панелью обеспечивает простую и комфортную эксплуатацию Съемная чаша для быстрой смены процессов без перекрестного загрязнения
Надежность и безопасность	Непосредственно связанный двигатель с полым валом с вакуумным стеклом для защиты от брызг Сливная бутылка в передней панели для облегчения доступа и мониторинга уровня заполнения

Доступные опции:

Крышка для дополнительных функций

Системы LabSpin можно оборудовать крышкой для изменения расположения сопла для нанесения фоторезиста, что позволит проводить нанесение по центру пластины, наносить покрытие на кромки и удалять наплывы материала с краев пластины. Для процессов проявления в крышку можно также вмонтировать систему нанесения проявителя и линию продувки азотом для сушки резиста.

Шприцевая система нанесения

Опция шприцевого нанесения под давлением является мощным инструментом для процессов с небольшим количеством фоторезиста или в которых требуется частая смена материала. Такая система позволяет использовать дорогостоящие материалы более экономно и эффективно.

Полностью автоматическая система нанесения

Полностью автоматическая система нанесения является прекрасным решением для покупателей, которым необходимо обрабатывать несколько пластин на устройстве с ручным управлением. Полностью автоматическая система нанесения устанавливается прямо на бутылку с фоторезистом. Высокая частота, а также оптимизированный объем нанесения позволяют уменьшить до минимума расход материала и сократить эксплуатационные расходы.

Нанесение покрытия на кромки пластины

Система LabSpin позволяет наносить покрытие на кромки пластины для лучшей защиты на всех шагах процесса. Нанесение покрытия на кромки возможно для пластин диаметром от 2 дюймов до 150 мм на системах LabSpin 6 и для пластин от 2 дюймов до 200 мм на системе LabSpin 8.

Удаление наплывов резиста с краев пластины (EBR)

Системы серии LabSpin позволяют удалять наплывы резиста с пластин диаметром от 2 дюймов до 150 мм или с пластин диаметром 200 мм при наличии регулируемого сопла для удаления наплывов. Опция EBR - распыления включает в себя полностью автоматическую систему нанесения для подачи растворителя.

Система нанесения проявителя

Система LabSpin может быть также настроена для процессов проявления наливом. Опция нанесения проявителя подключена напрямую к крышке, в качестве системы нанесения проявителя используется сосуд избыточного давления. Благодаря колебательным движениям держателя платформа LabSpin обеспечивает равномерные результаты обработки при более коротком времени процесса.

Сушка азотом

Данная опция позволяет высушить пластину после проявления и промывки деионизированной водой. Цифровой дисплей перед устройством позволяет контролировать поток азота.

Ножной выключатель

Для удобства запуска процесса в конфигурацию можно добавить ножной выключатель.

Конфигурации
LabSpin6	Подложки до 150 мм круглые или 4 дюйма квадратные
LabSpin8	Подложки до 200 мм круглые или 6 дюймов квадратные
Версии
Отдельная система	Настольная версия (TT)
Для интеграции в стол	Версия для встраивания (BM)
Контроллер
ГИП	Сенсорная панель с цветным экраном
Макс. кол-во рецептов	200
Макс. кол-во шагов процесса	40
Программир. время шага	1 - 999 с
Двигатель	Бесщёточный ЕС - мотор с полым валом и защитным стеклом
Макс. скорость вращения	8 000 об/мин +/- 1 об/мин (с держателем 200 мм)
Макс. ускорение	4 000 об/мин/с
Безопасность
Цифровой вакуумметр	да
Автом. контроль вакуума	да
Контроль закрытой крышки	да
Требования
Питание	4.6 A / 2.5 A (115 В / 230 В)
Сжатый воздух	5 - 6 бар
Вакуум	мин. - 0.7 бар (опц.)
Азот	5 - 6 бар (опц.)
Габариты*
LabSpin 6 BM (Ш x Г x В)	320 x 310 x 415 мм³
LabSpin 8 BM (Ш x Г x В)	350 x 340 x 415 мм³
Контроллер (Ш x Г x В)	160 x 120 x 67 мм³
LabSpin 6 TT (Ш x Г x В)	320 x 425 x 420 мм³
LabSpin 8 TT (Ш x Г x В)	350 x 455 x 420 мм³

* без опций