Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4

Настольная система оптической метрологии FRT MicroProf 100

Германия
  • картинка

Универсальный метрологический прибор для быстрого и лёгкого определения топографии, шероховатости, толщин слоёв и собственно образца

Производитель: FRT
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • компактный настольный прибор
  • 100 мм x 150 мм область измерений (горизонтальная)
  • высокая скорость измерений, макс. 200 мм/с
  • ручные и автоматические измерения и анализ
  • индивидуально конфигурируемый
  • TTV-опция для двусторонних измерений

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
ШИРОКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ БЛАГОДАРЯ МУЛЬТИСЕНСОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ

Оборудование MicroProf от компании FRT – признанный стандарт в современной метрологии трехмерных поверхностей, который позволяет быстро, эффективно и наглядно проводить широкий спектр измерений. Вот уже многие годы инструменты MicroProf используются в производстве полупроводников, микроэлектроники, медицинских товаров и автомобилей для бесконтактного и неразрушающего измерения топографии, высоты ступенек, шероховатости, толщины слоя и других параметров.


Благодаря разработанной FRT мультисенсорной технологии различные методы оптических измерений удалось объединить в одном инструменте. В зависимости от требований MicroProf® позволяет проводить как быстрые общие измерения всего образца целиком, так и измерять отдельные его компоненты с высоким разрешением, сочетая в себе точечный, линейный, поверхностный датчик, датчик толщины, а также возможности сканирующей атомно-силовой микроскопии. Диапазон измерений при этом варьируется от метров до субнанометров.

Программное обеспечение FRT позволяет индивидуально настраивать измерительные процессы и проводить их как в ручном, так и в полностью автоматизированном режиме.


Помимо высокой точности измерений среди достоинств оборудования MicroProf можно выделить гибкие возможности для модернизации, а также компактные габариты.



РАБОТА С ОБРАЗЦАМИ ЛЮБОГО РАЗМЕРА

Измерительная система имеет различные варианты конфигураций держателя и диапазона его перемещений в зависимости от размеров образца. Открывает линейку инструмент в настольном исполнении MicroProf 100. Две более габаритные обособленные системы, MicroProf 200 и MicroProf 300, в основном отличаются диапазоном перемещений держателя. Обе они могут быть дооснащены загрузочным устройством. Предусмотрена гибкая настройка уровня автоматизации – от ручных измерений и оценок до полностью автоматизированных процессов.


Ниже приведено краткое описание поставляемого программного и аппаратного обеспечения.



MicroProf 100

MicroProf 200

MicroProf 300

Перемещение x-y 150 мм х 100 мм 250 мм x 200 мм 415 мм x 305 мм
Мультисенсорная конфигурация

x

x

x

Оценка разброса по толщине (опция)

x

x

x

Настольный модуль

x

   
Отдельностоящая система

система

x

x

Автоматизация (опция)

x

x

x

Загрузочное устройство (опция)
 

x

x

Температурный модуль (опция)

x

x

x



FRT MicroProf. Измерения образца с обеих сторон.jpg
ИЗМЕРЕНИЯ ОБРАЗЦА С ОБЕИХ СТОРОН

При установке соответствующей опции возможна работа с двусторонними образцами и проведение измерений на верхней и нижней стороне в рамках одной процедуры с одновременным определением общей толщины образца. Также возможно определение общего разброса по толщине и других параметров поверхности, например, шероховатости, микронеровностей, плоскостности или параллельного расположения обеих сторон.



ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ FRT
ИНТУИТИВНАЯ И ПОНЯТНАЯ ACQUIRE

Все необходимые для ручных измерений операции, от включения системы до самого измерительного процесса, осуществляются при помощи простых действий в программе Acquire. В логично выстроенном руководстве приведены все виды ручных процессов. Все датчики контролируются через пользовательский интерфейс программы, который позволяет задавать оптимальные параметры, отслеживать их в реальном времени и сохранять данные любых измерений – точечных, профильных или трехмерных

MARK III ДЛЯ ПОДРОБНОГО АНАЛИЗА

Разработанное FRT аналитическое программное обеспечение Mark III – комплексный пакет для обработки, оценки и презентации двухмерных или трехмерных измерений. Созданное по последним стандартам, оно включает целый ряд различных функций для анализа, обработки и фильтрации, включая расчет шероховатости и микронеровностей. Результаты можно выводить в 3D, с видом в профиль или сверху, а также создавать свои собственные отчеты об измерениях. Простой и понятный интерфейс включает возможности для импорта и экспорта данных, а также позволяет проводить несколько этапов обработки и оценки в одной серии измерений.




FRT MicroProf. Создание рецепта определение процесса..jpg
FRT MicroProf. Последовательность автоматизированного измерения в Acquire Automation XT.jpg
FRT MicroProf. 3D-вид измерения в Mark III.jpg
Создание рецепта – определение процесса в Acquire Automation XT
Последовательность автоматизированного измерения в Acquire Automation XT
3D-вид измерения в Mark III


АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ОЦЕНКА – ACQUIRE AUTOMATION XT

Программное обеспечение Acquire Automation XT от FRT позволяет проводить измерения и оценивать их результаты как в ручном, так и в полностью автоматизированном режиме на базе заранее заданных последовательностей действий. Возможна его интеграция в системы производственного контроля – например, посредством интерфейса SECS/GEM. Производителем уже заложен целый ряд готовых стандартных измерительных процедур. Для работы с повторяющимися структурами предусмотрен графический пользовательский интерфейс. Помимо этого, доступна функция точного выравнивания образца на базе распознавания структур.


Программа позволяет задавать последовательность работы необходимых датчиков, проводить замеры, обрабатывать и анализировать результаты на базе интеллектуальных алгоритмов, выводить и визуализировать результаты в виде отчетов, а также экспортировать их в различных форматах. В ее работе учтены все действующие стандарты DIN-EN-ISO, а также узкоотраслевые нормы, такие, как SEMI. Благодаря SEMI-совместимому пользовательскому интерфейсу Acquire Automation XT отвечает всем производственным и лабораторным требованиям, а также предусматривает функции администрирования, включая индивидуальную настройку пользовательских прав.


FRT MicroProf. РАБОТА С ОБРАЗЦАМИ..jpgРАБОТА С ОБРАЗЦАМИ

Автоматизированная работа с образцами обеспечивает высокую производительность даже при проведении автоматических измерительных процессов. Особенно востребована полная автоматизация на производствах полупроводников, микроэлектроники и светодиодов. Загрузочное устройство MicroProf позволяет проводить полностью автоматизированные измерения различных образцов или пластин, загружая вплоть до 4 кассет одновременно.


Оборудование MicroProf способно в полностью автоматическом режиме анализировать пластины диаметром от 2 до 12 дюймов при полной интеграции в производственный процесс. По заказу измерительная система может быть оснащена устройством для отбора образцов на базе желаемых критериев. Также возможна интеграция других систем для работы с образцами, например, роботизированных манипуляторов SCARA.


FRT MicroProf. Загрузочное устройство.jpg
FRT MicroProf. Температурный модуль.jpg


FRT MicroProf. ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОД ВЛИЯНИЕМ ТЕМПЕРАТУРЫ.jpgИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОД ВЛИЯНИЕМ ТЕМПЕРАТУРЫ

Под воздействием температуры компоненты деформируются, что может приводить к неисправностям и даже к выходу устройства из строя. Именно поэтому топографическая оценка образцов под тепловой нагрузкой – неотъемлемый этап испытаний в электронном машиностроения и производства конструкционных материалов. MicroProf TL позволяет измерять топографию поверхностей различных компонентов при контролируемой термической нагрузки Для этого образцы помещают на нагревательную или охлаждающую плитку в закрытой камере (со стеклянной панелью) и подвергают температурному воздействию. Для регулирования температур предусмотрен ряд настраиваемых профилей. Возможно проведение как автоматических замеров топографии поверхности при различных температурах, так и при различном времени выдержки и постоянной температуре. Температурный модуль может устанавливаться отдельно на любую установку FRT.



ПРИМЕРЫ ИЗМЕРЕНИЙ



FRT MicroProf. ВЕРТИКАЛЬНЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ - ПЕРЕХОДНЫЕ ОТВЕРСТИЯ.jpg
FRT MicroProf. КАНАВКИ.jpg
FRT MicroProf. ГЛОБАЛЬНЫЕ - ЛОКАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАСТИНЫ.jpg
FRT MicroProf. ТОПОГРАФИЯ (ФОРМА СТРУКТУРА).jpg
FRT MicroProf. ТОПОГРАФИЯ (ФОРМА СТРУКТУРА)..jpg
FRT MicroProf. ТОПОГРАФИЯ ВЕРХНЕЙ И НИЖНЕЙ ЧАСТИ..jpg
FRT MicroProf. УГЛЫ..jpg
FRT MicroProf. ТОЛЩИНА ПЛЕНОК - СЛОЕВ..jpg



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования frt microprof 100


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования frt microprof 100
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх