|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Настольная система оптической метрологии FRT MicroProf 100
Универсальный метрологический прибор для быстрого и лёгкого определения топографии, шероховатости, толщин слоёв и собственно образца
Производитель: FRT
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- компактный настольный прибор
- 100 мм x 150 мм область измерений (горизонтальная)
- высокая скорость измерений, макс. 200 мм/с
- ручные и автоматические измерения и анализ
- индивидуально конфигурируемый
- TTV-опция для двусторонних измерений
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
ШИРОКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ БЛАГОДАРЯ МУЛЬТИСЕНСОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ
РАБОТА С ОБРАЗЦАМИ ЛЮБОГО РАЗМЕРА
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ОЦЕНКА – ACQUIRE AUTOMATION XT
ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОД ВЛИЯНИЕМ ТЕМПЕРАТУРЫ
.jpg "FRT MicroProf. ТОПОГРАФИЯ (ФОРМА СТРУКТУРА).jpg")
..jpg "FRT MicroProf. ТОПОГРАФИЯ (ФОРМА СТРУКТУРА)..jpg")
Оборудование MicroProf от компании FRT – признанный стандарт в современной метрологии трехмерных поверхностей, который позволяет быстро, эффективно и наглядно проводить широкий спектр измерений. Вот уже многие годы инструменты MicroProf используются в производстве полупроводников, микроэлектроники, медицинских товаров и автомобилей для бесконтактного и неразрушающего измерения топографии, высоты ступенек, шероховатости, толщины слоя и других параметров.
Благодаря разработанной FRT мультисенсорной технологии различные методы оптических измерений удалось объединить в одном инструменте. В зависимости от требований MicroProf® позволяет проводить как быстрые общие измерения всего образца целиком, так и измерять отдельные его компоненты с высоким разрешением, сочетая в себе точечный, линейный, поверхностный датчик, датчик толщины, а также возможности сканирующей атомно-силовой микроскопии. Диапазон измерений при этом варьируется от метров до субнанометров.
Программное обеспечение FRT позволяет индивидуально настраивать измерительные процессы и проводить их как в ручном, так и в полностью автоматизированном режиме.
Помимо высокой точности измерений среди достоинств оборудования MicroProf можно выделить гибкие возможности для модернизации, а также компактные габариты.
РАБОТА С ОБРАЗЦАМИ ЛЮБОГО РАЗМЕРА
Измерительная система имеет различные варианты конфигураций держателя и диапазона его перемещений в зависимости от размеров образца. Открывает линейку инструмент в настольном исполнении MicroProf 100. Две более габаритные обособленные системы, MicroProf 200 и MicroProf 300, в основном отличаются диапазоном перемещений держателя. Обе они могут быть дооснащены загрузочным устройством. Предусмотрена гибкая настройка уровня автоматизации – от ручных измерений и оценок до полностью автоматизированных процессов.
Ниже приведено краткое описание поставляемого программного и аппаратного обеспечения.
|
|
MicroProf 100 |
MicroProf 200 |
MicroProf 300 |
| Перемещение x-y | 150 мм х 100 мм | 250 мм x 200 мм | 415 мм x 305 мм |
| Мультисенсорная конфигурация |
x |
x |
x |
| Оценка разброса по толщине (опция) |
x |
x |
x |
| Настольный модуль |
x |
||
| Отдельностоящая система |
система |
x |
x |
| Автоматизация (опция) |
x |
x |
x |
|
Загрузочное устройство (опция) |
x |
x |
|
|
Температурный модуль (опция) |
x |
x |
x |
ИЗМЕРЕНИЯ ОБРАЗЦА С ОБЕИХ СТОРОН
При установке соответствующей опции возможна работа с двусторонними образцами и проведение измерений на верхней и нижней стороне в рамках одной процедуры с одновременным определением общей толщины образца. Также возможно определение общего разброса по толщине и других параметров поверхности, например, шероховатости, микронеровностей, плоскостности или параллельного расположения обеих сторон.
|
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ FRT |
|
|---|---|
|
ИНТУИТИВНАЯ И ПОНЯТНАЯ ACQUIRE Все необходимые для ручных измерений операции, от включения системы до самого измерительного процесса, осуществляются при помощи простых действий в программе Acquire. В логично выстроенном руководстве приведены все виды ручных процессов. Все датчики контролируются через пользовательский интерфейс программы, который позволяет задавать оптимальные параметры, отслеживать их в реальном времени и сохранять данные любых измерений – точечных, профильных или трехмерных |
MARK III ДЛЯ ПОДРОБНОГО АНАЛИЗА Разработанное FRT аналитическое программное обеспечение Mark III – комплексный пакет для обработки, оценки и презентации двухмерных или трехмерных измерений. Созданное по последним стандартам, оно включает целый ряд различных функций для анализа, обработки и фильтрации, включая расчет шероховатости и микронеровностей. Результаты можно выводить в 3D, с видом в профиль или сверху, а также создавать свои собственные отчеты об измерениях. Простой и понятный интерфейс включает возможности для импорта и экспорта данных, а также позволяет проводить несколько этапов обработки и оценки в одной серии измерений. |
 |
 |
 |
|
Создание рецепта – определение процесса в Acquire Automation XT |
Последовательность автоматизированного измерения в Acquire Automation XT |
3D-вид измерения в Mark III |
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ОЦЕНКА – ACQUIRE AUTOMATION XT
Программное обеспечение Acquire Automation XT от FRT позволяет проводить измерения и оценивать их результаты как в ручном, так и в полностью автоматизированном режиме на базе заранее заданных последовательностей действий. Возможна его интеграция в системы производственного контроля – например, посредством интерфейса SECS/GEM. Производителем уже заложен целый ряд готовых стандартных измерительных процедур. Для работы с повторяющимися структурами предусмотрен графический пользовательский интерфейс. Помимо этого, доступна функция точного выравнивания образца на базе распознавания структур.
Программа позволяет задавать последовательность работы необходимых датчиков, проводить замеры, обрабатывать и анализировать результаты на базе интеллектуальных алгоритмов, выводить и визуализировать результаты в виде отчетов, а также экспортировать их в различных форматах. В ее работе учтены все действующие стандарты DIN-EN-ISO, а также узкоотраслевые нормы, такие, как SEMI. Благодаря SEMI-совместимому пользовательскому интерфейсу Acquire Automation XT отвечает всем производственным и лабораторным требованиям, а также предусматривает функции администрирования, включая индивидуальную настройку пользовательских прав.
РАБОТА С ОБРАЗЦАМИ
Автоматизированная работа с образцами обеспечивает высокую производительность даже при проведении автоматических измерительных процессов. Особенно востребована полная автоматизация на производствах полупроводников, микроэлектроники и светодиодов. Загрузочное устройство MicroProf позволяет проводить полностью автоматизированные измерения различных образцов или пластин, загружая вплоть до 4 кассет одновременно.
Оборудование MicroProf способно в полностью автоматическом режиме анализировать пластины диаметром от 2 до 12 дюймов при полной интеграции в производственный процесс. По заказу измерительная система может быть оснащена устройством для отбора образцов на базе желаемых критериев. Также возможна интеграция других систем для работы с образцами, например, роботизированных манипуляторов SCARA.
 |
 |
ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОД ВЛИЯНИЕМ ТЕМПЕРАТУРЫ
Под воздействием температуры компоненты деформируются, что может приводить к неисправностям и даже к выходу устройства из строя. Именно поэтому топографическая оценка образцов под тепловой нагрузкой – неотъемлемый этап испытаний в электронном машиностроения и производства конструкционных материалов. MicroProf TL позволяет измерять топографию поверхностей различных компонентов при контролируемой термической нагрузки Для этого образцы помещают на нагревательную или охлаждающую плитку в закрытой камере (со стеклянной панелью) и подвергают температурному воздействию. Для регулирования температур предусмотрен ряд настраиваемых профилей. Возможно проведение как автоматических замеров топографии поверхности при различных температурах, так и при различном времени выдержки и постоянной температуре. Температурный модуль может устанавливаться отдельно на любую установку FRT.
ПРИМЕРЫ ИЗМЕРЕНИЙ
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте