Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Система автоматической оптической метрологии FRT MicroProf FE для участка Frond-End

Германия
  • картинка

Полностью автоматизированная метрология пластин для различных этапов полупроводникового производства

Производитель: FRT
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Мультисенсорность
  • Современный промышленный дизайн
  • Встроенная CCD-камера с переключаемым освещением
  • Управляющий и измерительный компьютер с TFT-монитором
  • Быстрый XY- прецизионный стол с высокой точностью хода и позиционирования
  • Индивидуальный пробоотбор
  • Стабильное гранитное основание с отличными демпфирующими свойствами
  • Легкое и эффективное управление измерительным прибором посредством FRT Acquire
  • Интуитивно обслуживаемое ПО с многочисленными возможностями анализа согласно DIN-ISO и SEMI стандартам

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

MicroProf® FE - стандартизированный и полностью автоматизированный инструмент FRT для двухмерной и трехмерной метрологии пластин. В его состав входит признанный во всем мире MicroProf® 300 и система подачи и транспортировки пластин, объединенные в единый модуль (EFEM). MicroProf® FE - идеальный высокопроизводительный рабочий инструмент для любого крупного полупроводникового производства позволяющий реализовывать все стандартные отраслевые решения и практически не требующий технического обслуживания.


Помимо стандартной конфигурации предусмотрены различные дополнительные функции, дооснащение которыми возможно в любой момент.


Типовые образцы:

  • Чистые пластины после шлифовки или полировки
  • Пластины с покрытием
  • Структурированные пластины: литография на различных этапах, замеры проводящих цепей, шариковых выводов и т.п.
  • Пластины для MEMS: акселерометры и датчики давления, микрооптика и т.п.
  • 3D интеграция: пластины на различных этапах 3D интеграции, например, со сквозными отверстиями или канавками после травления
MicroProf FE. Пластина - тонкие и многослойные пленки..jpg
MicroProf FE. Столбики - Высота диаметр шаг..jpg
Пластина - тонкие и многослойные пленки.
Толщина отдельного слоя.
Столбики > Высота, диаметр, шаг


НАДЕЖНЫЙ АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ МЕТРОЛОГИИ ПЛАСТИН

MicroProf® FE позволяет в полностью автоматическом режиме работать с унифицированными модулями с фронтальной загрузкой (FOUP) и транспортными контейнерами (FOSB) для 300-миллиметровых пластин. Возможна конфигурация для работы с кассетами 150 / 200 мм, в т.ч. и работа с различными размерами (200/300 мм) в рамках одного устройства. Загрузочное устройство состоит из манипулятора с захватом, двух загрузочных портов с устройством для картирования, центровки и RFID считывателем. Возможно оснащение устройством для оптического распознавания. Система предназначена для работы со стандартными полупроводниковыми пластинами, но также может быть сконфигурирована для искривленных пластин (например, пластина с сформированной матричной структурой шариковых выводов) или утоненных пластин до 50 мкм.


Метрологические решения для предварительной обработки MicroProf® FE оснащен фильтровентиляционными модулями, которые обеспечивают условия класса 3 по ISO. Станция представляет собой стандартное исполнение MicroProf ® 300 с гранитной платформой с трехточечным фиксатором пластин или вакуумным столиком. Хроматический датчик FRT CWL высокого разрешения позволяет без труда проводить воспроизводимые замеры топографии, качества поверхности и контуров. Возможна комплектация MicroProf® FE различными дополнительными датчиками в зависимости от пожеланий пользователя и проводимых замеров.



АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ИЗМЕРЕНИЕ И АНАЛИЗ - ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ FRT ACQUIRE AUTOMATION XT


Система функционирует на базе программного обеспечения FRT Acquire Automation XT, которое отвечает всем требованиям полупроводниковой индустрии. Модульные наборы параметров позволяют проводить измерение и анализ данных как чистых пластин, так и пластин с сформированной структурой, при этом производителем уже заложен целый ряд готовых стандартных измерительных процедур. Для работы с повторяющимися структурами предусмотрен графический пользовательский интерфейс, который позволит задать последовательность областей измерения. Помимо этого, доступна функция точного выравнивания образца на базе распознавания структур. Программа обеспечивает широкий функционал - от ручных измерений до полностью автоматизированных процессов, буквально требующих лишь нажатия одной кнопки, а также интеграцию в системы производственного контроля, например, через интерфейс SECS/GEM.


Последовательная работа нескольких датчиков обеспечивает простую конфигурацию различных измерительных задач, в т.ч. проведение самих замеров, обработку и анализ результатов на базе интеллектуальных алгоритмов, вывод и визуализацию результатов в виде отчетов, а также их экспорт в различных форматах.



МОДЕРНИЗАЦИЯ И ДОПОЛНИТЕЛЬНОЕ ОСНАЩЕНИЕ

Как и все прочие системы семейства MicroProf®, MicroProf® FE можно оснастить несколькими датчиками, которые позволят проводить различные замеры в рамках одной метрологической системы. К типовым решениям относят хроматические точечные датчики для проведения односторонней и двусторонней проверки, датчики области сканирования (для интерферометрии белого света или конфокальной), датчики для определения толщины пленок и даже атомно-силовую микроскопию.

СТАНДАРТНАЯ КОНФИГУРАЦИЯ

Метрология
MicroProf® 300
Хроматический датчик FRT CWL
Позиционная камера
Фиксация пластины в Б точках
Пользовательский интерфейс (клавиатура, мышь, монитор)
Работа с пластинами
Роботизированный манипулятор для работы со стандартными пластинами 300 мм
Вакуумный захват
2 загрузочных порта для 300 мм
FOUP (SEMI стандарт)
Устройство для центровки
RFID считыватель
Корпус
Обеспечивает уровень чистоты класса 3 по ISO
Равноугольный корпус
Два фильтровентиляционных модуля: в рабочей зоне и в зоне метрологии
Программное обеспечение
FRT Acquire Automation XT
FRT Mark III
Интерфейс SECS/GEM


ОПЦИИ

Метрология
Камера высокого разрешения
ПО для распознавания структур
TTV
Датчик IRT для определения толщины пленок
Датчик FTR для работы с тонкими пленками
Датчик области сканирования CFM,CFM DT, WLI FL, WLI PL
Хроматический линейный датчик SLS
Светлопольная ИК подсветка + ИК-камера для проведения проверок
Трехточечная фиксация для работы с 2 размерами пластин
Поддержка установки вакуумного столика для работы с пластинами 1 или 2 размеров
Температурный контроль (нагрев / охлаждение столика)
Атомно-силовая микроскопия
Манипулятор
Загрузочные порты для работы с открытыми кассетами(пластины 150 200 мм
Работа с пластинами двух различных размеров
Опция для фиксации за кромки
Опция для работы с изогнутыми тонкими пластинами
Опция бесконтактного захвата для работы с тонкими пластинами
Возможность работы с корпусными кассетами
Датчик для оптического распознавания (спереди и сзади)
Ионизатор
Программное обеспечение
Дополнительные пакеты ПО AA XT:
  • Высота и ширина ступенек
  • Толщина пленок
  • TTV, изгибы, деформации
  • Напряжение
  • Сквозные отверстия/канавки/шариковые выводы
  • Геометрия пластин
  • Рельеф
  • Шероховатость и волнистость
  • Отметки распила
  • Нанотопография
  • Настраиваемый пакет для проведения оценок
  • Настраиваемый интерфейс SECS/GEM



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования microprof fe


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования microprof fe
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх