Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Универсальная система автоматической оптической метрологии FRT MicroProf FS

Германия
  • картинка

Автоматическая гибридная метрология для производства полупроводников.

Производитель: FRT
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Возможность работы с несколькими датчиками
  • Встроенный термоузел (холодные, горячие держатели)
  • Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
  • Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
  • Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
  • Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
  • Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
  • Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
  • Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
  • Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

ШИРОЧАЙШИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ДЛЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ


MicroProf® FS – полностью автоматизированный комплекс для метрологии пластин, позволяющий реализовывать как стандартные, так и специализированные решения в микроэлектронном производстве. Широкие возможности делают MicroProf® FS по-настоящему универсальным инструментом для любого современного производства.


Гибкость и универсальность – ключевые характеристики метрологических решений, применяемых на современных полупроводниковых производствах. Созданный на базе модульного подхода, MicroProf® FS – полностью автоматизированный мультисенсорный инструмент, способный выполнить все требуемые задачи в области измерений.


В основе метрологического блока лежит признанный во всем мире мультисенсорный метрологический инструмент MicroProf® 300. C его помощью можно не только измерять различные продукты, но и (посредством гибридной метрологии) повышать точность измерений при работе с образцами, требующими более одного датчика или принципа измерения.


Измерительная система MicroProf® FS на базе гранитной платформы оснащается трехточечным фиксатором пластин или вакуумным столиком.


FRT FS Собранная электронная подложка.jpg
  FRT FS Топография отдельного.jpg
  FRT FS Шариковые выводы(высота диаметр шаг).jpg
Собранная электронная подложка

Источник: Danfoss Silicon Power GmbH
  Топография отдельного переходного отверстия
  Шариковые выводы (высота, диаметр, шаг)


ОБШИРНЫЙ ДИАПАЗОН ПОДЛОЖЕК

Наряду с высоким уровнем автоматизации оборудование крайне универсально – роботизированный манипулятор способен работать с пластинами диаметром 150, 200 и 300 мм, как индивидуально, так и с использованием переходных устройств, которые позволяют работать с двумя размерами в рамках одной системы. Кроме того, его можно настроить для работы с нестандартными для отрасли пластинами, например, тонкими или с высоким уровнем деформации. Манипулятор представляет собой роботизированную руку с захватом, двумя загрузочными портами, устройством для картирования, центровки и RFID-считывателем. При необходимости он может также оснащаться устройством для оптического распознавания. MicroProf® FS оснащен фильтровентиляционными модулями, обеспечивающими уровень чистоты класса 3 по ISO.



ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДЛЯ ПОЛНОСТЬЮ АВТОМАТИЧЕСКОЙ МЕТРОЛОГИИ ПЛАСТИН


Система функционирует на базе программного обеспечения FRT Acquire Automation XT, которое отвечает всем требованиям полупроводниковой индустрии. Модульные наборы параметров позволяют проводить измерение и анализ данных как чистых пластин, так и пластин со сформированной структурой, при этом производителем уже заложен целый ряд готовых стандартных измерительных процедур. Для работы с повторяющимися структурами предусмотрен графический пользовательский интерфейс, который позволит задать последовательность областей измерения. Помимо этого, доступна функция точного выравнивания образца на базе распознавания структур.


Программа обеспечивает широкий функционал – от ручных измерений до полностью автоматизированных процессов, буквально требующих лишь нажатия одной кнопки, а также интеграцию в системы производственного контроля, например, через интерфейс SECS/GEM. Последовательная работа нескольких датчиков обеспечивает простую конфигурацию различных измерительных задач, в т.ч. проведение самих замеров, обработку и анализ результатов на базе интеллектуальных алгоритмов, вывод и визуализацию результатов в виде отчетов, а также их экспорт в различных форматах.


FRT FS Последовательность проведения.jpg
FRT FS Представление данных в FRT Acquire Automation XT.jpg
Последовательность проведения
автоматизированного измерения в
FRT Acquire Automation XT
Представление данных в FRT Acquire Automation XT


ТИПОВЫЕ СПОСОБЫ ПРИМЕНЕНИЯ


  • Пластины с покрытием
  • Структурированные пластины: литография на различных этапах, замеры проводящих цепей, шариковых выводов и т.п.
  • Пластины для MEMS: акселерометры и датчики давления, микрооптика и т.п.
  • Пластины на различных этапах 3D интеграции, например, со сквозными отверстиями или канавками после травления
  • Многослойные тонкие пленки

ВЕРТИКАЛЬНЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ /
КАНАВКИ

ПЛОСКОСТНОСТЬ
FRT FS ВЕРТИКАЛЬНЫЕ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ - КАНАВКИ.jpg
 
Измерение вертикальных межсоединений и канавок с высоким соотношением сторон
FRT FS Измерение плоскостности пластины.jpg
Измерение плоскостности пластины
ШАРИКОВЫЕ ВЫВОДЫ /
КОПЛАНАРНОСТЬ
СУЖЕНИЕ
FRT FS ШАРИКОВЫЕ ВЫВОДЫ - КОПЛАНАРНОСТЬ.jpg
Измерение размеров шариковых выводов и копланарности
FRT FS СУЖЕНИЕ.jpg
Измерение сужения пластины по стандартам SEMI
РАЗМЕР СТУПЕНЬКИ
ЗАКРУГЛЕНИЕ КРАЯ
FRT FS РАЗМЕР СТУПЕНЬКИ.jpg
Измерение высоты и ширины ступеньки на пластинах со сформированной структурой
FRT FS ЗАКРУГЛЕНИЕ КРАЯ.jpg
Измерение закругления края пластины по стандартам SEMI
ТОЛЩИНА ПЛЕНОК / СЛОЕВ ТОПОГРАФИЯ
FRT FS ТОЛЩИНА ПЛЕНОК - СЛОЕВ.jpg
Измерение прозрачного слоя / слоев
FRT FS ТОПОГРАФИЯ.jpg
Измерение стандартной топографии
ТОЛЩИНА ПЛАСТИНЫ /
РАЗБРОС ПО ТОЛЩИНЕ
ТОПОГРАФИЯ (ВЕРХ И НИЗ)
FRT FS ТОЛЩИНА ПЛАСТИНЫ - РАЗБРОС ПО ТОЛЩИНЕ.jpg
Измерение толщины пластин и разброса по толщине по стандартам SEMI
FRT FS ТОПОГРАФИЯ (ВЕРХ И НИЗ).jpg
Измерение топографии на обеих поверхностях пластины одновременно
ТОЛЩИНА ПЛАСТИНЫ (ИК)
НАПРЯЖЕНИЕ
FRT FS ТОЛЩИНА ПЛАСТИНЫ (ИК).jpg Измерение толщины пластин, слоев и общей толщины теплопрозрачных слоев, например, соединенных пластин FRT FS НАПРЯЖЕНИЕ.jpg Измерение напряжения пластины, например, вызванного осаждением слоев
ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ СЛОЙ
ИЗГИБ / ДЕФОРМАЦИЯ
FRT FS ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ СЛОЙ.jpg
Измерение толщины промежуточного слоя (пакетированных пластин), пустот и дефектов
FRT FS ИЗГИБ - ДЕФОРМАЦИЯ.jpg
Измерение изгиба и деформации по стандартам SEMI
ШЕРОХОВАТОСТЬ /
МИКРОНЕРОВНОСТИ
НАНОТОПОГРАФИЯ
FRT FS ШЕРОХОВАТОСТЬ - МИКРОНЕРОВНОСТИ.jpg
Измерение шероховатости и микронеровностей на поверхностях бескорпусных пластин и пластинсо сформированной структурой по стандартам DIN/ISO
FRT FS НАНОТОПОГРАФИЯ.jpg
Измерение нанотопографии шлифованных и полированных пластин по стандартам SEMI
ГИБРИДНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
FRT FS ГИБРИДНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ.jpg
Расчеты свойств образцов после обработки с использованием индвидуальных результатов, полученных при помощи различных сенсоров и принципов измерения

КОНФИГУРАЦИЯMICROPROF® FS


МЕТРОЛОГИЯ
MicroProf® 300
Хроматические датчики FRT CWL
Настройка для измерения разброса по толщине
Датчик FRT CWL FT/IRT для определения толщины пленок
Датчик FRT FTR для работы с тонкими пленками
Хроматический линейный датчик FRT SLS
Конфокальный микроскоп FRT CFM/CFM DT
Интерферометр белого света FRT WLI FL/WLI PL
Камера с подсветкой для стандартного позиционирования
Камера высокого разрешения с подсветкой
Светлопольная ИК-подсветка + ИК-камера для проверок
Программное обеспечение для распознавания структур
Трехточечная фиксация для работы с 1 или 2 диаметрами
Полноценная поддержка вакуумного столика для работыс одним или двумя диаметрами пластин
Температурный контроль (нагрев / охлаждение столика)
МАНИПУЛЯТОР
Роботизированный манипулятор
Устройство для центровки
2 загрузочных порта для работы с открытыми кассетами по SEMI стандарту
  • диаметром 150 мм (6’’)
  • диаметром 200 мм (8’’)
  • диаметром 300 мм (12’’)
  • переходник (опция)
RFID считыватель
Вакуумный захват
Фиксация за кромки
Работа с изогнутыми пластинами (например, eWLB)
Захват Бернулли (бесконтактный)
Датчик для оптического распознавания (спереди и сзади)
Ионизатор
КОРПУС
Уровень чистоты класса 3 по ISO
Два фильтровентиляционных модуля:в рабочей зоне и в зоне метрологии
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
FRT Acquire Automation XT: в комплекте пакет для проведения оценок + дополнительные пакеты по необходимости:
  • Высота ступенек и толщина пленок
  • Разброс по толщине, изгиб, деформации
  • Шариковые выводы
  • Геометрия пластин
  • Шероховатость и микронеровности
  • Пилообразность
  • Пользовательские пакеты для проведения оценок
  • Нанотопография
Интерфейс SECS/GEM (стандартный или пользовательский)
Программа для аналитики FRT Mark III
Программа для проведения измерений FRT Acquire



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования microprof fs


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования microprof fs
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх