Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4

Конфокальный микроскоп MicroSpy Topo DT

Германия
  • картинка

Трёхмерный измерительный прибор, объединяющий преимущества конфокальной и интерферометрической систем.

Производитель: FRT
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Быстрые, бесконтактные и неразрушающие измерения
  • Трехмерные измерения с субнанометровым разрешением
  • Горизонтальное сшивание при увеличении измеряемого поля
  • Встроенная CCD-камера с переключаемым освещением
  • Яркий, долговечный и энергосберегающий светодиод
  • Моторизованное прецизионное приближение сенсоров
  • Широкий ассортимент 2D и 3D фильтров и методов анализа данных
  • Простое и эффективное программное обеспечение
  • Многочисленные возможности анализа согласно DIN-ISO и SEMI стандартам
  • 6-кратная револьверная головка с быстрой и лёгкой сменой объективов

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

MicroSpy® Topo DT – это трёхмерный измерительный прибор, объединяющий преимущества конфокальной и интерферометрической систем. В зависимости от задачи он может использоваться как конфокальный микроскоп или интерферометр белого света. В результате прибор позволяет измерять как очень гладкие, так и значительно рельефные образцы, с сильной, а также со слабой отражательной способностью, быстро и без повреждений. В обоих режимах возможны высокая скорость измерения с очень высоким разрешением, а также, при необходимости, возможно расширение измеряемого поля. 6-кратная револьверная головка содержит одновременно различные объективы, быстро меняющиеся поворотом. Прибор применяется преимущественно в исследовательских целях, при разработке продукта, а также для контроля продукта в процессе производства.

Алмазная структура конфокальный режим.jpg
Канавка с тонкой структурой интерферометрический режим.jpg
Топография полированной пластины с шероховатостью Ra = 08 нм интерферометрический режим.jpg
Алмазная структура, конфокальный режим
Канавка с тонкой структурой,
интерферометрический режим
Топография полированной пластины с шероховатостью
Ra = 0,8 нм, интерферометрический режим


ПРЕИМУЩЕСТВА

  • компактная система
  • оптимальное соотношение цена/качество
  • мощное аппаратное и программное обеспечение
  • прецизионная оптическая измерительная техника - профессиональная гарантия качества
  • экономичный и чрезвычайно эффективный инструмент
  • долговечный, простой в использовании
  • интуитивное использование при быстрой и детальной оценке результатов
  • консультирование и сервис опытными экспертами FRT

Принцип измерения конфокального
микроскопа

Свет точечно фокусируются на объекте, отражается и снова точечно отображается на детекторе. Если объект находится в фокусе, детектор регистрирует максимальную интенсивность в этой точке. Пошаговым сдвигом фокуса микроскоп получает точную информацию о высоте. Точечный съём изображения переводится в растр. Таким образом регистрируются трехмерная топография, структура и шероховатость поверхности.

Принцип измерения интерферометром
белого света Миро

При интерферометрии белого света камера получает картину интерференции, возникающую при наложении световых волн от объекта и отражающего зеркала. При совместном применении когерентного белого света с пошаговым смещением фокуса достигается очень высокое вертикальное разрешение, что позволяет успешно исследовать топографию, структуру и шероховатость поверхности.


Система
Основа
Гранитный штатив
Датчики
СFM DT датчик поля зрения
Измерительный стол
Область перемещения
100 мм х 100 мм
Привод
шпиндель
Подшипник
шариковый
Шаговое разрешение
0,078 мкм
Ровность
< 4 мкм / 100 мм
Макс. скорость
25 мм / с
Нагрузка
10 кг
Ось Z
моторизованная
Вертикальное
перемещение
50 мм
Системные требования
Общие
чистота, постоянная температура, отсутствие вибрации
Напряжение
110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза
Размеры (ДxШxВ)
510 мм х 530 мм х 760 мм
Вес
пр. 115 кг (измерительный прибор - 100 кг)
Параметры
(конфокальный микроскоп)
10x CFM
20x CFM
50x CFM
100x CFM
150x CFM 
Область измерений xy
1920 х 1440 мкм
960 х 720 мкм
384 х 288 мкм
192 х 144 мкм
128 х 96 мкм
Область измерений z1
1 мм
1 мм
1 мм
1 мм
1 мм
Продольное разрешение
2,46 мкм
1,23 мкм
0,49 / 0,422 мкм
0,25 / 0,372 мкм
0,16 / 0,372 мкм
Вертикальное разрешение
10 нм
3 нм
2 нм
1 нм
1 нм
Числовая апертура
0,5
0,75
0,8
0,9
0,9
Параметры
(Миро-интерферометр)
5x WLI
10x WLI
20x WLI
50x WLI
100x WLI
Область измерений xy
3840 х 2880 мкм
1920 х 1440 мкм
960 х 720 мкм
384 х 288 мкм
192 х 144 мкм
Область измерений z
4 мм
4 мм
4 мм
4 мм
4 мм
Продольное разрешение
4,92 мкм
2,46 мкм
1,23 мкм
0,49 / 0,612 мкм
0,25 / 0,482 мкм
Вертикальное разрешение
1 нм
1 нм
0,1 нм
0,1 нм
0,1 нм
Числовая апертура
0.13
0.3
0.4
0.55
0.7



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования microspy topo dt


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования microspy topo dt
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх