Конфокальный микроскоп MicroSpy Topo DT

Трёхмерный измерительный прибор, объединяющий преимущества конфокальной и интерферометрической систем.

Производитель: FRT

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Быстрые, бесконтактные и неразрушающие измерения
Трехмерные измерения с субнанометровым разрешением
Горизонтальное сшивание при увеличении измеряемого поля
Встроенная CCD-камера с переключаемым освещением
Яркий, долговечный и энергосберегающий светодиод
Моторизованное прецизионное приближение сенсоров
Широкий ассортимент 2D и 3D фильтров и методов анализа данных
Простое и эффективное программное обеспечение
Многочисленные возможности анализа согласно DIN-ISO и SEMI стандартам
6-кратная револьверная головка с быстрой и лёгкой сменой объективов

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации

MicroSpy® Topo DT – это трёхмерный измерительный прибор, объединяющий преимущества конфокальной и интерферометрической систем. В зависимости от задачи он может использоваться как конфокальный микроскоп или интерферометр белого света. В результате прибор позволяет измерять как очень гладкие, так и значительно рельефные образцы, с сильной, а также со слабой отражательной способностью, быстро и без повреждений. В обоих режимах возможны высокая скорость измерения с очень высоким разрешением, а также, при необходимости, возможно расширение измеряемого поля. 6-кратная револьверная головка содержит одновременно различные объективы, быстро меняющиеся поворотом. Прибор применяется преимущественно в исследовательских целях, при разработке продукта, а также для контроля продукта в процессе производства.


Алмазная структура, конфокальный режим	Канавка с тонкой структурой, интерферометрический режим	Топография полированной пластины с шероховатостью Ra = 0,8 нм, интерферометрический режим

ПРЕИМУЩЕСТВА

компактная система

оптимальное соотношение цена/качество

мощное аппаратное и программное обеспечение

прецизионная оптическая измерительная техника - профессиональная гарантия качества

экономичный и чрезвычайно эффективный инструмент

долговечный, простой в использовании

интуитивное использование при быстрой и детальной оценке результатов

консультирование и сервис опытными экспертами FRT

Принцип измерения конфокального
микроскопа

Свет точечно фокусируются на объекте, отражается и снова точечно отображается на детекторе. Если объект находится в фокусе, детектор регистрирует максимальную интенсивность в этой точке. Пошаговым сдвигом фокуса микроскоп получает точную информацию о высоте. Точечный съём изображения переводится в растр. Таким образом регистрируются трехмерная топография, структура и шероховатость поверхности.

Принцип измерения интерферометром
белого света Миро

При интерферометрии белого света камера получает картину интерференции, возникающую при наложении световых волн от объекта и отражающего зеркала. При совместном применении когерентного белого света с пошаговым смещением фокуса достигается очень высокое вертикальное разрешение, что позволяет успешно исследовать топографию, структуру и шероховатость поверхности.

Система
Основа	Гранитный штатив
Датчики	СFM DT датчик поля зрения
Измерительный стол
Область перемещения	100 мм х 100 мм
Привод	шпиндель
Подшипник	шариковый
Шаговое разрешение	0,078 мкм
Ровность	< 4 мкм / 100 мм
Макс. скорость	25 мм / с
Нагрузка	10 кг
Ось Z	моторизованная
Вертикальное перемещение	50 мм
Системные требования
Общие	чистота, постоянная температура, отсутствие вибрации
Напряжение	110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза
Размеры (ДxШxВ)	510 мм х 530 мм х 760 мм
Вес	пр. 115 кг (измерительный прибор - 100 кг)
Параметры (конфокальный микроскоп)	10x CFM	20x CFM	50x CFM	100x CFM	150x CFM
Область измерений xy	1920 х 1440 мкм	960 х 720 мкм	384 х 288 мкм	192 х 144 мкм	128 х 96 мкм
Область измерений z¹	1 мм	1 мм	1 мм	1 мм	1 мм
Продольное разрешение	2,46 мкм	1,23 мкм	0,49 / 0,42² мкм	0,25 / 0,37² мкм	0,16 / 0,37² мкм
Вертикальное разрешение	10 нм	3 нм	2 нм	1 нм	1 нм
Числовая апертура	0,5	0,75	0,8	0,9	0,9
Параметры (Миро-интерферометр)	5x WLI	10x WLI	20x WLI	50x WLI	100x WLI
Область измерений xy	3840 х 2880 мкм	1920 х 1440 мкм	960 х 720 мкм	384 х 288 мкм	192 х 144 мкм
Область измерений z	4 мм	4 мм	4 мм	4 мм	4 мм
Продольное разрешение	4,92 мкм	2,46 мкм	1,23 мкм	0,49 / 0,61² мкм	0,25 / 0,48² мкм
Вертикальное разрешение	1 нм	1 нм	0,1 нм	0,1 нм	0,1 нм
Числовая апертура	0.13	0.3	0.4	0.55	0.7