Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 300S

Благодаря возможностям травления хрома и кварца система Corial 300S RIE идеально подходит для изготовления фотошаблонов. Размеры камеры и широкий ассортимент держателей позволяют загружать подложки габаритами от 2 "x 2" до 8 "x 8".

Конструкция Corial 300S включает в себя большой катод, который облегчает загрузку подложки и обеспечивает высокую скорость травления хрома вместе с высокой селективностью к фоторезисту. Держатели подложки просто размещаются на катоде без необходимости прижимных винтов или крепежных элементов.

Эта простая в использовании система RIE с ручной загрузкой может травить широкий спектр материалов, необходимых для изготовления устройств MEMS, включая кремний, соединения кремния, металлы и полимеры с использованием фторированных газов. Установка вмещает следующие партии подложек 7 X 4 "или 3 X 6".

Система Corial 300S может быть модернизирована технологической камерой следующего поколения RIE, предназначенной для травления и / или тонкопленочного распыления, с любым типом подложки диаметром до 300 мм.

Производитель: Corial

Страна-производитель: Франция

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Экономичное решение для производства фотошаблонов
Небольшая (0.81 кв.м) занимаемая площадь
Специальная очищаемая вставка в реактор для быстрой очистки
Оптимизированное гелиевое охлаждение задней поверхности подложки в заданном температурном интервале для обработки широкого спектра материалов
Быстрые скорости RIE: Cr (50 нм / мин), SiO2 (50 нм / мин), Si3N4 (60 нм / мин) и полимеры (400 нм / мин)
Датчик процесса плазмохимического травления полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность определять скорость травления и толщину стравленного слоя в режиме реального времени с последующей автоматической остановкой процесса
Удалённый доступ и удалённое управление системой по сети internet

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Процессы

Типичные материалы, которые могут обрабатываться с помощью Corial 300S:

Хром и кварц для производства фотошаблонов

Кремний и его соединения (SiO2, SiNx, Si)

Полимеры: полиимид, BCB, фоторезист

Металлы: Au, Pt, Fe, Cu, PZT, Ti, TiN, TiW, W, Ta, TaN, Ge, Nb, NbN, Mo