Установка плазмохимического травления Plasma Therm Versaline DSE

Модульная платформа VERSALINE с широкими возможностями для модернизации.

VERSALINE DSE IV позволяет создавать продвинутые и высококачественные структуры для МЭМС – технология ГРИТ может применяться для решения самых разнообразных задач, как с Bosch-обработкой, так и с иными видами процессов.

В VERSALINE DSE реализован целый ряд запатентованных инновационных решений, включая морфинг параметров, быстрое переключение подачи газа и регулировка давления при помощи ПИД-регулятора. Эти возможности позволяют создавать любые необходимые формы при травлении – от больших полостей до наноструктур с высоким аспектным отношением (до 60:1). DSE IV обеспечивает высочайшую скорость обработки, высокую селективность материала относительно оксида и фоторезиста, а также практически не повреждает чувствительные к воздействиям элементы устройств. Дополнительная информация приведена в рекомендациях по применению Plasma-Therm.

Производитель: Plasma Therm

Страна-производитель: США

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Максимальная производительность при низких эксплуатационных затратах
Полноценные 2 МГц для оптимальной эффективности и снижения емкостных связей без экранирующей клетки Фарадея
Высокоскоростное бездефектное травление сквозных отверстий III-V (GaAs, InP)
Инновационные конфигурации, позволяющие работать как с отдельными пластинами, так и с партиями
Различные опции для работы с подложками
Первоклассная технология моментального модулирования процесса с уникальными широтными характеристиками для глубокого травления кремния (DSE)
Большая библиотека процессов для электроники и фотоники

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Высокая производительность и низкие эксплуатационные затраты VERSALINE® DSE

Варианты применения технологии DSE

Высокая селективностьSi:PR >200:1 Si:SiO >700:1


Аспектное соотношение 60:1	Силиктивно зависимое травление	Гладкие стенки, шероховатость <10нм

Снижение размера канавок в кремнии на изоляторе	Высокие скорости травления > 25 мкм	Удаление полимера

Определение окончания процесса оптическим спектрометром (OES)
	Процесс травления может быть остановлен по времени, либо – с высокой точностью при помощи EndpointWorks. Применяемый метод оптической эмиссионной спектроскопии способен определить наличие 1%-ного сигнала кремния. Дополнительно возможно использование лазерной рекфлектометрии или интерферометрии оптического излучения.
Производственная эффективность
	DSE IV разработана с учетом потребностей массовых производств и эффективности производства. При низких эксплуатационных затратах и высокой пропускной способности она нетребовательна в обслуживании и характеризуется продолжительным временем полезной работы между циклами очистки благодаря конструкции: Нагреваемого источника Нагреваемой камеры Нагреваемого регулятора Нагреваемого турбомоллекулярного насосаи форвакуумной линии Благодаря стабильной работе оборудования и отсутствию образования побочных продуктов на стенках камеры обеспечивается высокая точность и воспроизводимость процесса как в рамках одной пластины, так и между.
	Устранение эффекта первой подложки Улучшенная воспроизводимость Сокращение временинеобходимое для очистки реактора
	Работа с разными типами пластин Разработанные Plasma-Therm технологические модули и подложкодержатели позволяют работать с обширным диапазоном стандартных и нестандартных полупроводниковых пластин: Пластины диаметром 4, 6 и 8 дюймов Si, SiO₂, SOG, стеклянные и другие подложки Толщина пластины от 120 мкм до 2 мм Изгиб до 1 мм Сквозное травление По запросу возможна установка станции оптического пред-совмещения для определения базового среза или выемки.

Универсальные технологические модули, совместимые с различными типами загрузочных платформ

Благодаря многолетнему опыту работы с кластерными системами в НИОКР и серийными производствами, Plasma-Therm может подобрать оптимальную конфигурацию в зависимости от потребностей клиента и особенностей производственного процесса. Системы подачи и логика управляющего программного обеспечения снижают перекрестное загрязнение.


Шлюз для 1 PM	1 кассета, до 3 PM	2 кассеты до 4 PM	2 кассеты до 6 PM