Установка глубокого плазмохимического травления Plasma Therm Versaline ETCH

Модульная платформа VERSALINE® с широкими возможностями для модернизации. На базе платформы VERSALINE возможно создание различных модернизируемых конфигураций, как ручных, так и полностью автоматизированных, с учетом разнообразных сфер применения и пользовательских запросов (РИТ, ГРИТ, ИСП и импульсное высокочастотное РИТ).

Производитель: Plasma Therm

Страна-производитель: США

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Максимальная производительность при низких эксплуатационных затратах
Полноценные 2 МГц для оптимальной эффективности и снижения емкостных связей без экранирующей клетки Фарадея
Высокоскоростное бездефектное травление сквозных отверстий III-V (GaAs, InP)
Инновационные конфигурации, позволяющие работать как с отдельными пластинами, так и с партиями
Различные опции для работы с подложками
Первоклассная технология моментального модулирования процесса с уникальными широтными характеристиками для глубокого травления кремния (DSE)
Большая библиотека процессов для электроники и фотоники

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Установки VERSALINE обеспечивают эталонную эффективность и адаптивность для специализированных быстро развивающихся рынков высокотехнологичных производств – от НИОКР до крупных предприятий

Максимальная стабильность и воспроизводимость процесса, возможность травления в ИСП с опциональным нагревом	Эффективное управление тепловым режимом
Устранение эффекта первой подложки Улучшенная воспроизводимость Сокращение времени необходимого для очистки реактора Длительный срок службы защитного керамического цилиндра	Эффективное охлаждение пластины при интенсивных процессах благодаря моноблочному электроду Цельный механический прижим по всему периметру для более эффективного гелиевого охлаждения Оптимальный температурный режим,возможна установка электростатического держателя Деликатный подъемный механизм с 3 пинами Возможность работы с подложками различной толщины
Доказанная надежность программного обеспечения Интуитивно понятная базовая программа – ControlWorks Комплексная запись данных Программирование автоматизированных циклов очистки Отображение данных в реальном времени Система автоматического окончания процесса Совместимость со средствами производственной автоматизации (SECS/GEM) Редактирование рецептов во время работы Многопользовательский доступ различных уровней Сбор статистики аварийных сообщений	Cortex Система управления
Пользовательский интерфейс EndpointWorks	Глубокий контроль процесса с системой EndpointWorks от Plasma-Therm Различные источники для определения конечного состояния Лазерная интерферометрия (LES) Оптическая спектрометрия (OES) Оптическая интерферометрия (OEI) Системные параметры Пользовательские настройки
Оптическая спектрометрия (OES) Определение конечного состояния при работе с многослойными покрытиями Контроль целевой глубины травления Улучшенная повторяемость между партиями Доступен для широкого диапазона технологических задач	Графики OES для многослойного травления

InP кольцевой осцилятор	Микроактуатор для МЭМС	Сквозное отверстие GaAs
Асферическая кварцевая микролинза	GaN светодиод	Сапфировая подложка с упорядоченной структурой (PSS)

Различные конфигурации загрузки подложек

Технические характеристики

Температуры обработки	от -40°C до 40°C от 10°C до 60°C от 10°C до 200°C
Размер электрода	8” (200 мм) в диаметре
Загрузка	Ручная, загрузочный шлюз или кассетная
Система управления	На базе ControlWorksTM (с записью данных)
Насос	Сухой насос
Газовые линии	До 8
Определение окончания процесса (при использовании системы управления EndpointWorkd)	Лазерная система (LES) Оптическая интерферометрия (OEI) Оптическая спектрометрия (OES)
Питание ВЧ генератора	2 КВт @ 2 МГц ИСП 3,5 КВт @ 2 МГц ИСП Двухдиапазонная 600 Вт @ 13,56 МГц
Тип установки	Через стену или полностью в чистом помещении
Требования к питанию	200-230 В, 50/60 Гц
Сертификация	СЕ, SEMI-S2, S8

Варианты исполнения манипулятора

Единицы измерения: мм