Trymax NEO 200

Установка плазменной обработки NEO 200 от компании Trymax Semi Conductor является современной системой удаления фоторезиста, травления, зачистки пластин и озоления. Система специально предназначена для обработки подложек диаметром до 200 мм. Она оснащена полуавтоматической станцией загрузки, которая способна обрабатывать подложки размером до 200 мм. Линейка NEO 200 отвечает всем требованиям исследовательских институтов и производителей устройств, имеет компактный размер, что позволяет максимально снизить эксплуатационные расходы.

Производитель: Trymax

Страна-производитель: Нидерланды

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Размер пластин до 200 мм
Загрузочная платформа для полуавтоматического переноса пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows
Стандарты соответствия: SEMI S2-01, SEMI S8-01, CE, EU-RoHs

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Видеопрезентация

Применение

Удаление резиста с большой площади

Удаление непроявленного резиста

Удаление полимера

Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации

Травление нитрида кремния

МЭМС

Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)

Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet

Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами

Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet

Цифровые регуляторы массового расхода Horiba

Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet

Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet

Управление блокировками

Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности

Функции каждой из блокировок предустановлены

Технологический СВЧ-модуль

Применение:

Снятие фоторезиста (высокая темп.)

Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)

HDI

Комплектация:

Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)

Вакуумная камера из электрополированного алюминия

Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой

Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4

Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)

СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц

Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)

Регулятор массового расхода с системой вентиляции

Система регулировки давления VAT 615

Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)