Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Trymax NEO 200A
Платформа NEO 200A является самым современным пополнением в линейке систем плазменной обработки, озоления и зачистки пластин от компании Trymax Semiconductor Equipment. Это полностью автоматическая система с одной камерой, которую можно сочетать с любым из существующих технологических модулей Trymax для обработки подложек диаметром до 200 мм. Несмотря на компактный размер, установка NEO 200A работает с двумя кассетами одновременно.
Производитель: Trymax
Страна-производитель: Нидерланды
Основные возможности:
- Размер пластин до 200 мм
- Двухкассетная платформа
- Трехосевое подающее устройство с двумя манипуляторами
- 4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
- Высокая равномерность и воспроизводимость
- Механическая производительность > 100 пластин в час
- Компактное основание
- Низкие эксплуатационные расходы
- Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
- Промышленный ПК на базе Windows
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Применение
- Удаление резиста с большой площади
- Удаление непроявленного резиста
- Удаление полимера
- Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
- Травление нитрида кремния
- МЭМС
- Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
- Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
- Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
- Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
- Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
- Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
- Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
- Функции каждой из блокировок предустановлены
Технологический СВЧ-модуль
Применение:
- Снятие фоторезиста (высокая темп.)
- Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)
- HDI
Комплектация:
- Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
- Вакуумная камера из электрополированного алюминия
- Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
- Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
- Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
- СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
- Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
- Регулятор массового расхода с системой вентиляции
- Система регулировки давления VAT 615
- Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)