ОБОРУДОВАНИЕ

ПРОИЗВОДИТЕЛИ

IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT

Системы подачи газов, используемые в полупроводниковой промышленности компании IGS (Europe) Ltd

IGS является одной из ведущих компаний специализирующихся на системах подачи и контроля газов, в Великобритании.Десятилетиями эта компания развивала навыки, знания и опыт чтобы стать ведущим экспертом в этой области. Компания работает рука об руку с клиентами, и предлагает наиболее экономически эффективные решениям для реализации проекта

Производитель: IGS

Страна-производитель: Великобритания

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

различные конфигурации, как шкафное исполнение так и отдельные панели
управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые системы
сборка в условиях чистой комнанты класса 1000

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Скачать

Газовые шкафы.

Исполнения: одно, двух и трех баллонные.

Управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые шкафы.

Описание шкафа

12 мм сталь холодной проката, с белым (или по заказу) порошковым покрытием, используемые материалы устойчивы к коррозии
Самозакрывающаяся дверца и окно
Окно с армированным стеклом
Вентиляционные решетки в передних дверях
Фиксатор баллонов устойчив к коррозии

Комплектация

Панель управления
Аварийное отключение системы
Вентиляционный датчик
Водораспыляющая головка пожаротушения
Фильтр 0,003 микрон.
Для продува линий встроен эжекторный насос с трубкой Вентури

Опционально

Полка регулирующая высоту баллона, можно использовать разные по высоте баллоны
Порт для подключения течеискателя
Встроенный анализатор утечки газа и внешняя панель оповещения оператора об утечке
Блок автоматического продува линий и панели

Модель	Размеры в см
	ширина	глубина	высота*
1 BC	38	51	202
2 BC	64	51	202
3 BC	102	51	202

*Под заказ возможно изготовление газовых шкафов меньших по высоте.

Стандартные конфигурации газовых панелей в газовых шкафах

Двухбалонные конфигурации

	Процесс - Продув Внешняя линия для продува недоступна
	Процесс (без переключения) Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува.
	Процесс (с переключением) Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува доступна.

Трех балонные конфигурации

Рисунок: /upload/oborudovanie/podacha-tekhnologicheskikh-gazov/gazovye-shkafy/3b_pr-pr-p.jpg

Процесс - Процесс - Продув (без переключения)
Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува недоступна.

Рисунок: /upload/oborudovanie/podacha-tekhnologicheskikh-gazov/gazovye-shkafy/3b_pr-pr_sm.jpg

Процесс - Процесс - Продув (с переключением)
Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува не доступна.

Рисунок: /upload/oborudovanie/podacha-tekhnologicheskikh-gazov/gazovye-shkafy/panel.jpg

Панели.

Газовые панели для подачи технологических газов

Легки в установке, эксплуатации, с коротким временем изготовления и поставки.

Модульный дизайн - дает возможность грамотной конфигурации системы с применением стандартных комплектующих.

Каталожные части - компоненты панелей это стандартные каталожные части ведущих поставщиков для полупроводниковой промышленности. Что гарантирует многообразие решений с наименьшей стоимостью, высоким качеством и коротким временем изготовления.

Стандартизированные компоненты -использование компонентов со стандартизированными размерами и функциональностью, позволяя легко осуществить замену в случае необходимости.

Клапаны: Rotarex, AP Tech, Swagelok, Veriflo
Регуляторы: Rotarex, AP Tech, Tescom
Датчики: MKS, Setra


Серия IFS M-LM100 Автоматическая панель для коррозийных газов высокого давления. SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3, смеси и др Полностью автоматическая, для повышения чистоты процесса и безопасности. Регулятор давления (T) для баллонов и датчик давления. Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки. Система вентури для увеличения эффективности продува линии. Механическая защита от избыточного давления. Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.	Серия IFS M-LM300 Ручная панель для коррозийных газов высокого давления SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3 , смеси и др. Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности. Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки. Система вентури для увеличения эффективности продува линии. Механическая защита от избыточного давления. Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.	Серия IFS M-LM700 Ручная панель для инертных газов фреоны, N20, SF6 и др. Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности. Клапан продува (PGI) позволяет использовать газ для продува линий. Система вентури для увеличения эффективности продува линии. Механическая защита от избыточного давления. Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.

Газовый шкаф IGS. Модель 2000
(pdf, 979.52 КБ)