IntelliSuite

IntelliSuite - это тесно интегрированная среда проектирования, которая сведет воедино всю вашу организацию производства микроэлектромеханических систем (МЭМС). IntelliSuite предлагает набор масштабируемых инструментов, объединяет различные инжиниринговые и производственные задачи в единой среде проектирования.
Основанная на взаимодействии среда IntelliSuite делает возможной совместную работу коллектива разработчиков при создании МЭМС устройств, что позволяет сократить время и ресурсы, необходимые для изготовления опытных образцов устройств и их серийного выпуска.

Промышленный стандарт       

Спустя почти два десятилетия постоянного развития,программный пакет IntelliSuite предлагает сегодня самый широкий набор функций МЭМС модулей и остается вне конкуренции по возможностям моделирования, устойчивости работы и простоте использования. Вот почему пакетом IntelliSuiteпользуются инженеры в более чем 35 странах мира, в том числе большинство производителей МЭМС устройств, исследовательских организаций и технических лабораторий. И именно поэтому IntelliSuite является промышленным стандартом для программного обеспечения, используемого при проектировании и моделировании МЭМС устройств.

Комплексный процесс разработки

IntelliSuite включает широкий набор тесно связанных средств для всего цикла проектных работ от ввода описания схемы и оптимизации до проверки правильности проектных решений и передачи в производство. Гибкость технологического процесса разработки позволяет начать проектирование на уровне схемы, топологии или трехмерного изображения.

IntelliSuite состоит из нескольких современных средств, образующих единый программный пакет. Например, модуль Synple предназначен для схематического описания МЭМС (принцип во многом такой же, как у SPICE - программы модулирования электронных схем). Разработка затем быстро просчитывается методом последовательных приближений и оптимизируется на различных уровнях структурирования. С помощью сложных алгоритмов синтеза программа может автоматически преобразовать схему в топологию на уровне маски, трехмерной модели или в ячеистую структуру для полного мультифизического анализа.

Blueprint - это топологический редактор для проектирования МЭМС устройств, который включает современную топологию, нормоконтроль, визуализацию в поперечном сечении и возможность автоматического преобразования масок в шестигранные ячеистые структуры. Модуль обработки CleanRoom позволяет создать набор масок и отладить последовательность технологических операций до перехода в чистую комнату. Благодаря виртуальным прототипам, вы можете существенно сократить затраты, связанные с производственными ошибками. Новые средства мультифизического анализа в модуле Fastfield Multiphysics предназначены для моделирования полностью связанных электростатических, жидкостных и электромагнитных явлений. Новые алгоритмы вычислений, основанные на методе понижения порядка модели (Model Order Reduction, MOR) переносят электромеханические, жидкостные и демпфирующие свойства в компактные модели, тогда как модуль EDA Linker эффективно интегрирует IntelliSuite с другими ведущими САПР.

Спроектируйте еще одно устройство...          

IntelliSuite идет в комплекте со всеми необходимыми средствами проектирования, чтобы вы могли воплотить концепции в готовые изделия. Мы поставляем полный набор инструментов, с помощью которых вы можете моделировать технологический процесс, топологию и выполнять анализ устройства. В сущности, стандартный пакет IntelliSuite включает полностью интегрированные средства электрического, пьезоэлектрического, механического и термического моделирования, предназначенные для линейного или нелинейного анализа статических или переходных процессов. В расширенной комплектации доступны модули для электромагнитного, жидкостного и системного анализа.

В IntelliSense мы постоянно следим за последними разработками в МЭМС индустрии с целью поиска новых возможностей. И если мы пока не предложили вам все то, что вы ищите, мы можем найти для вас индивидуальные решения, отвечающие вашим специальным требованиям.

На сегодняшний день, множество инженеров, специализирующихся в сфере МЭМС, успешно использует программный комплекс IntelliSuite, чтобы проектировать и передавать в производство новые МЭМС изделия. Если вы занимаетесь технологиями МЭМС, IntelliSuite даст вам безграничную свободу творчества и возможность реализовать практически любое МЭМС решение, о котором вы можете только мечтать. Воспользуйтесь им, чтобы воплотить в реальность вашу следующую большую или маленькую идею!

Пакет САПР IntelliSuite был разработан в модульном виде,чтобы вы всегда могли выбрать необходимую функциональность без необходимости платить лишнее. Гибкая ценовая политика позволит вам в последствии докупить отдельные модули, чтобы еще больше расширить возможности.

Чаще всего клиенты выбирают следующие пакеты в зависимости от планируемого использования: 

• Комплекс средств проектирования: Blueprint, TapeOut, и CSViewer
• Чистая комната (Технология): включает все необходимые технологические модули 
• Анализ МЭМС: 3DBuilder, Fastfield ThermoElectroMechanical Module и EDALinker
• Комплекс средств БиоМЭМС: 3DBuilder и Microfluidics Analysis 
• Система и синтез: Synple, Hexpresso и MEMSynth

1. AnisE

AnisE упрощает процесс точного воссоздания процесса травления. Загрузите шаблон, выберите ориентацию подложки, параметры обработки и затем наблюдайте в режиме реального времени за изменениями!

2. IntelliEtch

В IntelliEtch вы можете структурировать и травить любую поверхностную ориентацию (не только популярные подложки) расширяя функциональность МЭМС структур и делая возможным тестирование эффектов вицинальной поверхности. При этом IntelliEtch допускает структурирование и травление не плоскостных подложек с круглыми, вертикальными или диагональными формами. Структурировать и травить можно даже кремний со сферической поверхностью. Также возможно исследовать и тонко настроить отдельный процесс методом по атомного травления структуры.

3. IntelliFAB

Программа моделирования и отладки технологического процесса IntelliFAB позволяет отладить последовательность операций и ваш набор масок до того, как вы войдете в чистую комнату. Вы сможете создавать виртуальные прототипы и сокращать затраты, связанные с производственными ошибками.

4. MEMaterial

MEMaterial - это самая полная на сегодняшний день база знаний по тонкопленочным материалам, которая является очень важным звеном между параметрами технологического процесса и свойствами устройства. ИспользуйтеMEMaterial как базу данных в масштабах организации, информационное хранилище или как средство оптимизации процессов производства на вашем предприятии.

5. RECIPE 3D

Используйте RECIPE для тонкой настройки технологий травленияRIE, ICP, DRIE или Bosch. Вычисляйте профили стенок и проблемы травления допередачи топологии в производство.

RECIPE это мощная и простая в использования программа моделирования технологий травления RIE/ICP (реактивно-ионное травление/травление индуктивно связанной плазмой), предназначенная для проектирования микроустройств. С помощью RECIPE вы можете создавать топологию микроструктур и автоматически моделировать процессы травления (RIE, ICP/Bosch/DRIE) по отдельности или в различных комбинациях. RECIPE поддерживает моделирование как травление с ионной бомбардировкой, так и осаждение. Фактически, это пока единственная в продаже программа для моделирования глубинного травления кремния и других подложек.

6. Визуализация процесса

IntelliFab содержит FabViewer - удобную в использовании программу визуализации технологического процесса для быстрого отображения последовательности технологической операции, созданной средствами IntelliFab.Пользователь может визуально изучить структуру на каждом технологическом переходе или воспроизвести на экране весь цикл моделирования. Способность программы отображать сечения под любым углом и ориентацией облегчает поиск и анализ ошибок.

7. FabSim

FabSim является средством визуализации, которое поможет вам отладить сложные технологические процессы еще до того, как вы переступите порог чистой комнаты. FabSim работает в связке с IntelliFab для визуализации каждого технологического этапа со всеми деталями. Пользователь может визуально изучить структуру на каждом технологическом переходе и рассмотреть сечения под любым углом, чтобы легко найти ошибки.

Средства проектирования:      

1. Blueprint

Blueprint - это первое средство топологии, предназначенное специально для проектирования МЭМС.

2. Tape out

Эффективное средство нормоконтроля. TapeOut - это универсальный механизм проверки проектных норм, предназначенный специально для МЭМС. В TapeOut вы можете с уверенностью работать с выпуклыми полигонами, кривыми Безье, сплайнами и другими сложными МЭМС фигурами, зная при этом, что за вами находится надежный механизм контроля.

3. 3DBuilder

3D Builder - это программа для интерактивного или автоматического создания структурированной или неструктурированной сетки разбиения.

4. Hexpresso

Hexpresso - инструмент для синтеза сетки, который позволит вам создавать качественные ячеистые структуры на основе схем, топологий или технологических процессов. Используйте Hexpresso в проектировании МЭМС, микроэлектронных устройств, производстве печатных плат и компоновке микросхем!

Модули Multiphysics  

1. ThermoElectroMechanical

Полностью связанный мультифизический анализ

2. Электромагнитные явления и RF MEMS

Связанный электростатический, механический, контактно-физический и высоко-частотный (РЧ) анализ

3. piezoMEMS

В комплект IntelliSuite входят самые современные средства для пьезоэлектрического и пьезорезисторного моделирования. Наш модуль PiezoMEMS предлагает комплексные решения при проектировании пьезочувствительных механизмов и актюаторов в МЭМС.

4. Микрогидродинамика и биологические МЭМС

Новейшее средство для изучения микрогидродинамики

5. Компоновка