Настольная система монтажа микрокомпонентов Idonus CCB

Установка сращивания чипов позволяет в ручном режиме совместить чипы с последующим приведением их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения

Производитель: Idonus

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

3 линейные оси
3 поворотные оси
нагреваемый до 500 С держатель
возможна работа с микроскопом для точного совмещения
безопасность в эксплуатации

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Точное выравнивание и сращивание двух отдельных чипов, друг с другом, очень часто необходимо для создания трехмерных структур и отдельных устройств при производстве полупроводниковых приборов.

Система сращивания позволяет вручную совместить и соединить два чипа друг с другом.

В дальнейшем система приведет их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения, что позволяет очень точно совмещать пластины.

Нижний чип закрепляют на основании, нижнем держателе, верхний чип закрепляется с помощью игольчатого держателя. Оба держателя фиксируют чипы с помощью вакуума, каждый держатель может быть настроен и управляем отдельно друг от друга.

Для процессов анодного сращивания, нижний держатель включает в себя нагреваемую плиту и подключается к источнику эл. тока. Для процесса анодного сращивание необходимо нагреть сращиваемые чипы и пропустить через них эл. ток. Источник питания для анодного сращивания гибко настраиваем, управляется вручную, он позволяет контролировать и отображать ток сращивания и напряжение. Также этот источник контролирует температуру нагревательной плиты и может ее регулировать.

Система разработана для исследовательских институтов и может быть адаптирована для различных задач.

Настольная система монтажа микрокомпонентов Idonus CCB (изображение)

Настольная система монтажа микрокомпонентов Idonus CCB (изображение)

Система сконфигурирована для анодного сращивания: включена нагреваемая плита и источник питания.

Схема работы системы

Для специальных клеевых процессов (такие как УФ склейка) нагреваемый держатель может быть снят и заменен на прозрачный держатель пластин, который позволяет подсвечивать чип снизу и контролировать процесс склейки.

Применения:

- Совмещения пластин и чипов
- Анодное сращивание
- Упаковка
- Различные клеевые процессы

(УФ-, эпокси-, температурные, и тд.)

Преимущества:

- Быстрое совмещение
- Безопасное управление
- Может быть сконфигурирован для различных применений
- Небольшие размеры
- Легок в эксплуатации

Установка сращивания чипов Idonus CCB (изображение)

Панель управления источника питания: С правой стороны контроллер температуры нагревательной плиты, с левой стороны регуляторы высокого напряжения. Дисплеи отображают силу тока склейки и напряжение.

Панель управления вакуумных держателей. Вакуум для нагревательного держателя и для игольчатого держателя переключается раздельно. Дополнительно уровень вакуума может быть отрегулирован.

Принцип анодного сращивания Idonus CCB (изображение)