Canon FPA-3000 i4

Система проекционной литографии Cannon FPA - Высокоэффективное решение для серийного производства.

Спецификации:

Подложки: 8 ", 6" или 4 "
Фотошаблоны: 6 "(возможен загрузчик шаблонов Nikon Style или Canon Style)

Общая спецификация и информация:
Canon FPA 3000 i4
Тип платформы: ABS (воздушный подшипник)
Тип камеры: CD80

Проекционная оптика:
Увеличение: 1/5 X
Длина волны: 365 нм
Числовая Апертура: 0,63 ~ 0,45
Размер поля: 22x22 мм ~ 17x26 мм

Источник экспонирования:
Свет экспозиции: i-Line
Источник света: лампа Hg сверхвысокого давления 2.0 кВт
Интенсивность:> 6500 Вт / м2
Однородность: <1,0%
Затеняющие заслонки: Независимые заслонки (0,4x0,4 мм ~ 26X26 мм на пластине)

Основные характеристики проецирования:
Разрешение: <0,35 мкм
Глубина фокуса:> 1,0 мкм
Отклонение поля изображения: <0,5 мкм
Искажение: <± 0,05 мкм

Характеристики Фокуса/Выравнивания:
Повторяемость фокуса: <0,10 мкм (3 сигма)
Повторяемость выравнивания: <7 ppm (3 сигма)
Минимальный диапазон компенсации:> 100ppm

Характеристики системы выравнивания подложек:
Источник света: He-Ne Laser, широкополосный (галогенная лампа)
Процесс обработки сигнала: TV обработка изображения
Система: Off Axis TTL
Режим: AGA

Спецификации платформы/стола:
Точность шага: <0,04 мкм (3 сигма)
Масштабирование: <± 0.5ppm
Ортогональность: <± 0.5ppm

Спецификации совмещения:
Точность поворота фотошаблона: <± 0,015 мкм
Выравнивание пластин: <0,6 мкм в среднем + повторяемость вращения 3 сигма: <0,05 мкм)

Фотошаблон: Стандартный размер 6" квадрат t=0,25" (проверка на предмет загрязнений):
Материал: кварц
Узор Материал: 2 слоя CR, 3 слоя CR
Пеликл/защита: только со стороны шаблона, дистанция = 6,3 мм

Спецификация контролера счетчика частиц на поверхности фотошаблона:
Разрешение обнаружения:
Поверхность стекла:> 15 мкм
Поверхность пеликла:> 20 мкм
Повторяемость обнаружения:> 95%

Подложки:
Размер: стандартный 8” (от 6” до 8” стандарт SEMI, JEIDA, выемка / базовый срез, опционально)
Пропускная способность:> 59 подложек / ч (60 экспонирований) 22 мм (8” подложка)
Пропускная способность:> 83 подложек / ч (32 экспонирований) 22 мм (6" подложка)