Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка УФ экспонирования на светодиодах

Инновационная система УФ-фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы.
Страна-производитель: Швейцария
Основные возможности:
- Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
- Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
- Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
- Низкое потребление энергии
- Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
- Отсутствуют расходы на техобслуживание
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Предлагаем инновационную систему УФ фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы. Качество модуля засветки обеспечивает высокую однородность критических размеров и углов боковых стенок по всей поверхности. Наша система гарантирует идеально стабильное качество засветки фоторезиста, т.е. высокую равномерность и малые углы расхождения пучка по всей поверхности, благодаря телецентрической оптике.
Современные достижения в области светодиодной технологий позволяют использовать ультрафиолетовую светодиодную засветку, которая имеет больше преимуществ, чем стандартная на основе ртутных источников:
Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.
Преимущества LED
![]() |
Оптическая система |
- Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
- Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
- Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
- Низкое потребление энергии
- Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
- Отсутствуют расходы на техобслуживание
Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.
![]() |
|
![]() |
Картина интенсивности освещения (8 ×8 дюйм2) |
|
Система экспонирования с электронным контроллером |
Стандартные характеристики
Разрешение | 0,5 мкм |
Оптическая мощность | от 20 до 200 мВт/см2 |
Площадь экспонирования | от 50х50 до 300х300 мм2 |
Оптическая неоднородность излучения | ±2% |
Макс. угол расхождения пучка | ±1.5° до 3° |
Длина волны | 365 / 385 / 405 нм |
Полуширина спектра | 12 нм |
Размер системы | 65×30×30 см3 |
Потребление электроэнергии | 20 до 1200 Вт |
Различные примеры конфигураций установки экспонирования указаны в таблице ниже. Система может работать с различными длинами волн и обеспечивает аналогичные характеристики экспонирования как в системах с ртутными источниками. Система может быть разработана под ваши технические требования.
Тип системы | А | Б | В |
---|---|---|---|
Разрешение, мкм |
2 |
1 |
1 |
Оптическая мощность, мВт/см2 | 42 | 152 | 165 |
Площадь экспонирования, мм2 | 80х80 | 100х100 | 300х300 |
Оптическая неоднородность излучения, % | ±2 | ±2 | ±2 |
Макс. угол расхождения пучка | ±2.5° | ±1.5° | ±1.5° |
Длина волны, нм | 405 | 365 | 385 |
Полуширина спектра, нм | 12 | 12 | 12 |
Размер системы, см | 65x30x30 | 65x30x30 | 1100x60x60 |
Потребление электроэнергии, Вт | 20 |
180 |
1200 |