Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка сушки пластин Tousimis Automegasamdri-815B, Series B

Установка сушки в критической точке Automegasamdri®-815B, Series B
Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС. Низкое потребление углекислого газа.
Автоматическая обработка до 5 пластин, 4 дюйма менее чем за час. Минимальные требования к подключениям.
Основные возможности:
- Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
- Установки сушки в критической точке углекислого газа Automegasamdri®-815B, Series B
- Низкое потребление углекислого газа.
- Автоматическая обработка до 5 пластин, 4 дюйма менее чем за час.
- Минимальные требования к подключениям.
Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
Установки сушки в критической точке углекислого газа Automegasamdri®-815B, Series B
Низкое потребление углекислого газа.
Автоматическая обработка до 5 пластин, 4 дюйма менее чем за час.
Минимальные требования к подключениям.
|
Особенности:
- Высокая эффективность внутреннего замкнутого цикла охлаждения (от 22С до рабочей температуры менее чем за 3 минуты)
- Фильтры легко могут быть сняты для простого технического обслуживания
- Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляет пары спирта
Уникальные вставки в камеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а также позволяет обрабатывать пластины различного размера.
- Обработка до 5 пластин х 4 дюйма в диаметре одновременно. Система комплектуется дополнительными держателями устойчивыми к плавиковой кислоте для обработки пластин следующих размеров: 5 x 3", 5 x 2" или для 5 квадратных пластин 10 мм. Держатели компании tousimis® устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах для жидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства к устройству.
- Автоматическая обработка пластин под контролем интегрированного микропроцессора
- все внутренние поверхности инертны к углекислому газу и ультрачистым спиртам
- Повторяемые параметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата
- Статистический модуль контроля давления обеспечивает стабильное безопасное давление
- Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистоту углекислого газа в камере до 0,4 микрон
- LED панель управления
- Дизайн установки подходящий для использования в чистой комнате
- Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, UL и/или U.S. Military Specifications. |
Размеры установки: 14.25" (36.2 см) ширина x 11.75" (29.8 см) глубина x 25" (63.5 см) высота
Занимаемая площадь: 42" (107.0 см) ширина x 30" (76 см) глубина
Размер камеры: 4.50" x 1.25" / Объем камеры:326 мл
Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi
Электричество: 220В / 50 Гц