Установка сушки пластин Tousimis Automegasamdri-916B, Series C

Установка сушки в критической точке Automegasamdri®-916B, Series С

Сушка пластин 8 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС. Низкое потребление углекислого газа. Автоматическая обработка до 5 пластин, 8 дюймов менее чем за час. Компактный дизайн. Минимальные требования к подключениям.

Производитель: Tousimis

Страна-производитель: США

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Сушка пластин 8 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
Установки сушки в критической точке Automegasamdri®-916B, Series С
Низкое потребление углекислого газа.
Автоматическая обработка до 5 пластин, 8 дюймов менее чем за час.
Минимальные требования к подключениям.

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации

Установки сушки в критической точке Samdri успешно используются для повышения качества изготовленных МЭМС устройств, а также увеличения объема производства за счет уменьшения брака при выпуске. Установки используются для сушки в углекислом газе отделенных элементов МЭМС после жидкостного травления. Важнейшим преимуществом этих систем является предотвращение «слипания» элементов МЭМС.

Рисунок: /upload/oborudovanie/sushka-plastin/automegasamdri-916b-series-s/obshhee_916B__Series_C.JPG

Сушка пластин 8 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.

Установки сушки в критической точке Automegasamdri®-916B, Series С

Низкое потребление углекислого газа.

Автоматическая обработка до 5 пластин, 8 дюймов менее чем за час.

Минимальные требования к подключениям.

Особенности:

- Высокая эффективность внутреннего замкнутого цикла охлаждения (от 22С до рабочей температуры менее чем за 5 минут)

- Фильтры легко могут быть сняты для простого технического обслуживания

- Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляет пары спирта

Уникальные вставки в камеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а также позволяет обрабатывать пластины различного размера.

- Обработка до 5 пластин х 8 дюймов в диаметре одновременно. Система комплектуется дополнительными держателями устойчивыми к плавиковой кислоте для обработки пластин следующих размеров: 5 x 6", 5 x 4", 5 x 3", 5 x 2" или для 5 квадратных пластин 10 мм. Держатели компании tousimis® устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах для жидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства к устройству.

- Подсветка камеры с смотровым окном

- Автоматическая обработка пластин под контролем интегрированного микропроцессора

- все внутренние поверхности инертны к углекислому газу и ультрачистым спиртам

- Повторяемые параметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата

- Статистический модуль контроля давления обеспечивает стабильное безопасное давление

- Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистоту углекислого газа в камере до 0,4 микрон

- LED панель управления

- Дизайн установки подходящий для использования в чистой комнате

- Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, UL и/или U.S.
Military Specifications.

Размеры установки: 21" (53.3 см) ширина x 34" (86.4 см) глубина x 45" (114.3 см) высота

Занимаемая площадь: 28" (71.1 см) ширина x 38" (97.0 см) глубина

Размер камеры: 8.50" x 1.25" / Объем камеры: 1162 мл

Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: 0 to 2,000 psi

Электричество: 220В / 50 Гц