Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4

Установка сушки пластин Tousimis Automegasamdri-915B

США
  • картинка

Установка сушки в критической точке Automegasamdri®-915B, Series B

Сушка пластин 6 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС. Низкое потребление углекислого газа. Автоматическая обработка до 5 пластин, 6 дюймов менее чем за час. Минимальные требования к подключениям.

Производитель: Tousimis
Страна-производитель: США

Основные возможности:

  • Сушка пластин 6 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
  • Установки сушки в критической точке углекислого газа Automegasamdri®-915B, Series B
  • Низкое потребление углекислого газа.
  • Автоматическая обработка до 5 пластин, 6 дюймов менее чем за час.
  • Минимальные требования к подключениям.

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Установки сушки в критической точке Samdri успешно используются для повышения качества изготовленных МЭМС устройств, а также увеличения объема производства за счет уменьшения брака при выпуске. Установки используются для сушки в углекислом газе отделенных элементов МЭМС после жидкостного травления. Важнейшим преимуществом этих систем является предотвращение «слипания» элементов МЭМС.



Сушка пластин 6 дюймов в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.

Установки сушки в критической точке углекислого газа Automegasamdri®-915B, Series B

Низкое потребление  углекислого газа.

Автоматическая обработка до  5 пластин,  6 дюймов менее чем за час.  

Минимальные требования к подключениям. 


 

Особенности:


- Высокая эффективность внутреннего замкнутого цикла охлаждения  (от 22С до рабочей температуры менее чем за 3минуты)


- Фильтры легко могут быть сняты для простого технического обслуживания


- Патентованная внутренняя система SOTER™захватывает и  отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляет пары спирта


 Уникальные вставки в камеру,оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а также позволяет обрабатывать пластины различного размера.


- Обработка до 5 пластин х 6 дюймов в диаметре одновременно.  Система комплектуется дополнительными держателями устойчивыми к плавиковой кислоте для обработки пластин следующих размеров: 5 x4", 5 x 3", 5 x 2"  или для 5 квадратных пластин 10 мм.Держатели компании tousimis® устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах для жидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства к устройству.


- Автоматическая обработка пластин под контролем интегрированного микропроцессора


- все внутренние поверхности инертны к углекислому газу и ультрачистым спиртам


-  Повторяемые параметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата 


- Статистический модуль контроля давления обеспечивает стабильное безопасное давление


- Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистоту углекислого газа в камере до 0,4 микрон


- LED панель управления


- Дизайн установки подходящий для использования в чистой комнате


- Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, UL и/или U.S. Military Specifications. 

Размеры установки: 14.25" (36.2 см) ширина x 11.75" (29.8 см) глубина x 25" (63.5 см) высота

Занимаемая площадь: 42" (107.0 см) ширина x 30" (76 см) глубина

Размер камеры: 6.50" x 1.25" / Объем камеры:679 мл

Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi

Электричество: 220В / 50 Гц

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх