Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830

Установка для отжига с ИК-лампой LA-830. Представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида, устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.

Производитель: SCREEN

Страна-производитель: Япония

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Широкая область применения
Хорошая воспроизводимость процесса
Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа
Улучшенная равномерность обработки.
Непрерывное управление термическим процессом

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

LA－830 представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида, устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.

Характеристики

・ Датчик температуры контакта пластины “TS probe” обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса независимо от типов пластин и газов.

・ Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа создает среду обработки высокой чистоты.

・ 18-ступенчатая регулировка мощности и уникальный механизм фиксации пластины обеспечивают улучшенную равномерность обработки.

・ Высокоскоростной температурный контроллер, предназначенный для линейного нагрева, предоставляет возможность непрерывного управления термическим процессом.

Базовая спецификация

Пластина/размер: Si/ 6 или 8 дюймов (выбор)

Перемещение пластины: Робот с двумя руками

Кварцевая рука, рука из керамики высокой чистоты (перемещение), кварцевый держатель

Перемещение в N2 (опция)

Термическая печь

・Галогеновая лампа больше 18/меньше 18: мощность лампы 170В, 1.7кВт на лампу

・Корпус лампы: покрытие Au, водяное охлаждение

・Диапазон температур: 350C ~1100C

・Регулировка температуры: управление датчиком «TS probe» в замкнутом цикле

・Различные технологические/предохранительные блокировки

Газовый блок

Регулирование массового расхода: макс. 4 газа

Габариты (мм): 795(ш)x2950(г)x2150(в) *без пульта управления

Вес: 1150кг (основной корпус)