Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 1101
Идеально подходит для высокоточной оптики в случае конфигурации с плазменным источником или для силовой электроники в случае двусторонней металлизации. При всех тех же возможностях что и у младших установок ВАК 1101 предоставляет огромный потенциал, в том числе и возможность работы с подложками 12” и выше
на заводе производителе
Основные возможности:
- Обработка большого количества подложек за один процесс
- Огромные возможности для конфигурирования
- Резистивные испарители
- Магнетронные и плазменные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
Инжиниринговые услуги:
Монтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовкиКонтроль процесса:
ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
Кварцевый и оптический мониторинг
Анализатор остаточного газа
Оптическая пирометрия
Полная SECS GEM совместимость
Геометрия вакуумной камеры:
Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
Увеличенная дистанция – для Lift-off
Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock
Подложкодержатели:
Стандартные сферические
С возможностью переворота
Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
Разработка спец оснастки