Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641

Получить информационную брошюру

Вакуумная система напыления BAK-641 обладает достаточной вместительностью, чтобы разместить несколько источников и процесс аксессуаров, включая ионные источники, систему нагрева подложек с лицевой и обратной стороны. BAK-641 является идеальным выбором для нанесения высокоточных секвенций слоев для прецизионной оптики и оптоэлектроники. Оптимальная конструкция и эргономика системы позволит создать идеальный проводящий контакт на основе ITO, а возможность размещения и одновременной работы 2-х электронных пушек, обеспечит возможность роста надежным, многокомпонентным слоям для датчиков и силовой электроники

Производитель: Evatec

Страна-производитель: Швейцария

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Электронно-лучевая пушка
Резистивные испарители
Магнетронные источники
Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
Плазменная очистка тлеющим разрядом
Ионный источник
Держатели и системы крепления подложек в соответствии с требованиями заказчика

Инжиниринговые услуги:

Монтаж газовых линий Система бесперебойного электропитания

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации
Видеопрезентация
Скачать

Контроль процесса:

ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Кварцевый и оптический мониторинг

Анализатор остаточного газа

Полная SECS GEM совместимость

Производительность

Split Systems – Техническое решение компании Evatec

Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.

Основные возможности:

Высокая стабильность работы испарителя

Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением

Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды

Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание

Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)

				Равномерности
Система	Пленка	Толщина [нм]	Скорость [нм/с]	По пластине [%]	Пластина к пластине [%]	Между процессами [%]
BAK	Cu	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	NiCr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Cr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Ti	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Al	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Ag	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Au	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Cr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%

Brochure_BAK641
(pdf, 2.32 МБ)