Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901

С размерами партий 51 (4”) и 23 (6”) подложки в стандартной калотте ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного источника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.

на заводе производителе
Основные возможности:
- Работа с большими партиями
- Электронно-лучевая пушка до 3-х
- Резистивные испарители
- Магнетронные и плазменные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
- Кварцевый и оптический мониторинг
- Анализатор остаточного газа
- Оптическая пирометрия
- Полная SECS GEM совместимость
Инжиниринговые услуги:
Монтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовкиГеометрия вакуумной камеры:
Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
Увеличенная дистанция – для Lift-off
Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock
Подложкодержатели:
Стандартные сферические
С возможностью переворота
Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
Разработка спец оснастки