Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка магнетронного напыления Evatec LLS Evo II
![Страна-производитель: Швейцария Швейцария](/upload/iblock/8aa/8aa7f5440799026879638ce17f02deec.png)
Магнетронное напыление с помощью постоянного (DC) и ВЧ (RF) тока, комбинированное (DC/RF) напыление, напыление с помощью постоянного тока в режиме пульсации. Позволяет проводить плазменную очистку подложек в загрузочном шлюзе, что предотвращает загрязнение процессной камеры.
Производитель: Evatec
Страна-производитель: Швейцария
![](/bitrix/templates/tbs-iprill/img/lg.png)
на заводе производителе
Основные возможности:
- До 5 магнетронных источников – DC, RF, DC/RF, DC в режиме пульсации
- Напыление металлов, диэлектриков и TCO пленок
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность напыления через жесткие маски, минуя процесс литографии
- Опция автоматической загрузки/выгрузки подложек из кассеты в кассету
- Опция сканера штрих-кодов для полностью автоматизированного производства
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
Инжиниринговые услуги:
Монтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовкиПодойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта