Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM
Универсальная кластерная система.
Система Clusterline SPM представляет собой самостоятельный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии. В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP - CVD, модуль RIE
Производитель: Evatec
Страна-производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе
на заводе производителе
Основные возможности:
- Работа с подложками до 300 мм
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
- Подвод до 8 технологических газов
- Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С)
- Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре
- Быстрый и удобный доступ к модулю
- Независимая система откачки
- Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
Инжиниринговые услуги:
Монтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовкиПодойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Оборудование для полного цикла производства
Evatec Clusterline RAD
Универсальная кластерная ...