Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка вакуумного напыления Vinci PVD-20
PVD-20 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем магнетронного распыления. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач.
на заводе производителе
Основные возможности:
- Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 10
- Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
- Электронная пушка (4 ячейки по 6 см3 )
- От 1” до 4” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
- До 4-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
- Датчики потоков газов с регуляторами
- Регулировка давления дроссельной заслонкой
- Совмещение термических и магнетронных процессов
- Вакуумный шлюз "Load-lock"
Инжиниринговые услуги:
Станция водоподготовкиМонтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхВакуумные манипуляторыДержатели образцов Нагрев / ОхлаждениеДержатели образцов с ручным управлением
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
- Кварцевый и резистивный мониторинг
- Регулировка рабочего вакуума
Функция |
Система |
||
PVD-10 E |
PVD-10 S |
PVD-20 EB |
|
Нагрев подложки (до 600° С) |
x |
x |
x |
Охлаждения подложки |
x |
x |
x |
Вращения подложки |
x |
x |
x |
Магнетроны (до 4-х) |
- |
x |
В зависимости от кол-ва термических источников |
Расположение магнетронов снизу |
- |
x |
- |
Расположение магнетронов сверху |
- |
x |
x |
Термические источники (до 10-х) | x | - |
В зависимости от кол-ва магнетронных источников |
Перчаточный ящик | x | - |
x |
Изолирование держателя подложки для подачи смещени | - | x | x |
Ионный источник | - | - | x |
Возможность регулирования рабочего давления | - | x | x |