Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка вакуумного напыления Vinci PVD-4
PVD-4 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач
Производитель: Vinci
Страна-производитель: Франция
Основные возможности:
- Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 4-х
- Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
- 1” и 2” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
- До 3-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
- Регулировка давления дроссельной заслонкой
- Совмещение термических и магнетронных процессов
Инжиниринговые услуги:
Станция водоподготовкиМонтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхПодойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
- Кварцевый и резистивный мониторинг
- Регулировка рабочего вакуума
Функция |
Система |
||
PVD-4 E |
PVD-4 S |
PVD-4 H |
|
Нагрев подложки (до 600° С) |
x |
x |
x |
Охлаждения подложки (до -150° С) |
x |
x |
x |
Вращения подложки |
x |
x |
x |
Магнетроны (до 3-х) |
- |
x |
x |
Расположение магнетронов снизу |
- |
x |
- |
Расположение магнетронов сверху |
- |
x |
x |
Термические источники (до 2-х) | x | - |
x |
Шлюзовый загрузчик | - | - |
x |
Изолирование держателя подложки для подачи смещения | - | x | x |
Стеклянная камера | x | x | x |
Кварцевый датчик | x | x | x |
Возможность регулирования рабочего давления | - | x | x |
Монтаж, установка 40 метрового UHV туннеля. Institute Jean Lamour, Nancy, France.