Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Система электрохимического осаждения MOT μGalv
Система электрохимического осаждения μGalv обеспечивает выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину. Используется в процессе производства МЭМС, полупроводников, оптике, производстве солнечных батарей
Производитель: MOT
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
- Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb и других.
- Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb и других.
- Различные варианты исполнения ванн
- Импульсное осаждение с минимальным интервалом 0,10 мс, реверсирование потоков.
- Контроль параметров электролита (состав, рH, температура)
- Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система электрохимического осаждения μGalv обеспечивает выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину. Используется в процессе производства МЭМС, полупроводников, оптике, производстве солнечных батарей. Гибкость настроек вместе с возможностью расширения делает μGalv идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D.
Корпус устройства изготовлен из пластика устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам и т.д). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.
Материал: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF
Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный PVC.
Стандартная стоп-ванна (настольная или встроенная), ванна быстрого отмыва, мега-звуковая ванна.
Модули центробежной отмывки и сушки пластин, доп. QDR
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.
Шкаф с размещением нескольких ванн, для разных процессов
Вертикальное перемещение катода
Работа с упаковками при необходимости хим. восстановления
Импульсное осаждение с мин. межимп. инт. в 0,1 мс
Возможность реверсирования потоков
Ванна переливная, дополнительный резервуар c циклом фильтрации/перелива.
Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb,...
Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb,...
Варианты ванн: на подвеске, разбрызгиватель, поточная (с наклоном пластин) в зависимости от нужд потребителя.
Контроль необходимого pH (кислоты и/или щелочи), а также охлаждение.
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс, реверсирование потоков.
Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта компонентов.
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: погружная помпа из полипропилена, опционально PVDF
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF трубопровод из PP, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель доступа: сенсорная
Автоматические манипуляторы
Интеграция ванн предварительной и пост обработки.
Ламинарный шкаф
Вакуумная фиксация
Быстрое подключение для слива жидкостей
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения
Корпус устройства изготовлен из пластика устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам и т.д). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.
КОРПУС
Материал: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF
Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный PVC.
МОДУЛЬ ОЧИСТКИ
Стандартная стоп-ванна (настольная или встроенная), ванна быстрого отмыва, мега-звуковая ванна.
Модули центробежной отмывки и сушки пластин, доп. QDR
ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.
ДОП. ОПЦИИ ДЛЯ ПРОЦЕССА
Вертикальное перемещение катода
Работа с упаковками при необходимости хим. восстановления
Импульсное осаждение с мин. межимп. инт. в 0,1 мс
Возможность реверсирования потоков
МОДУЛИ ОСАЖДЕНИЯ
Ванна переливная, дополнительный резервуар c циклом фильтрации/перелива.
Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb,...
Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb,...
Варианты ванн: на подвеске, разбрызгиватель, поточная (с наклоном пластин) в зависимости от нужд потребителя.
Контроль необходимого pH (кислоты и/или щелочи), а также охлаждение.
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс, реверсирование потоков.
СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта компонентов.
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: погружная помпа из полипропилена, опционально PVDF
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF трубопровод из PP, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель доступа: сенсорная
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОПЦИИ
Автоматические манипуляторы
Интеграция ванн предварительной и пост обработки.
Ламинарный шкаф
Вакуумная фиксация
Быстрое подключение для слива жидкостей
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения