Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка формирования пористого кремния MOT μPor
Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния
Производитель: MOT
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Формирование пористого кремния
- Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
- Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
- Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
- Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния.
Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света.
Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества.
Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.
КОРПУС
СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: изготовлена из пластика PP, опц. PVDF или PTFE
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF или PTFE
Трубопровод из полипропилена, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель управления: PLC, опционально компьютерное управления
ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОПЦИИ
Автоматические манипуляторы
Интеграция ванн предварительной и пост обработки
Ламинарный шкаф
Быстрое подключение для слива жидкостей
Работа с электролитами и возможность включения процессов
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения
Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света.
Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества.
Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.
КОРПУС
Материал:
стандартно полипропилен белый, дополнительно PVDF
Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный ПВХ.СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: изготовлена из пластика PP, опц. PVDF или PTFE
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF или PTFE
Трубопровод из полипропилена, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель управления: PLC, опционально компьютерное управления
ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОПЦИИ
Автоматические манипуляторы
Интеграция ванн предварительной и пост обработки
Ламинарный шкаф
Быстрое подключение для слива жидкостей
Работа с электролитами и возможность включения процессов
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения
МОДУЛЬ ОЧИСТКИ
Промывочный модуль:
стандартная стоп-ванна, ванна быстрого отмыва.
Модули просушки: стандартные модули центробежной отмывки и сушки пластин.
ДОП. ОПЦИИ ДЛЯ ПРОЦЕССА
Технологическая камера с поддержкой нескольких процессов
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс
ДОП. ОПЦИИ ДЛЯ ПРОЦЕССА
Технологическая камера с поддержкой нескольких процессов
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс