Системы спреевой обработки пластин от 75м до 200 мм растворителями TRIDENT SST

Серия Trident SST – это новейшее поколение систем производства ClassOne Technology, предназначенных для спреевой кассетной обработки пластин растворителями. Каскадная обработка растворителями или промывочной водой, обеспечивает максимальную эффективность, снижая расход реактива, минимизируя время обработки и снижая количество дефектов.

Функциональные возможности этих передовых систем, упрощающих работу оператора и управление, включают цветной сенсорный дисплей, полностью регулируемую панель подключения оборудования, электронные расходомеры, датчики уровня с непрерывным контролем и многое другое. Системы оснащены мощной системой управления Solaris™ на базе Windows® 7, а таже системами удаленного доступа и регистрации данных. Кроме того, системы поддерживают протоколы GEM/SECSII и отчеты о безопасности работы.

Модели систем спреевой обработки Trident доступные для работы с пластинами от 75 до 200 мм, комплектуются одной или двумя рабочими камерами; оснащаются двумя, четырьмя, шестью или восемью нагреваемыми баками для химических реагентов; кроме того, представлен широкий ассортимент типов роторов.

Как результат, системы серии Trident SST позволяют увеличить время безотказной работы и улучшить производительность, при этом значительно сокращая эксплуатационные расходы; таким образом, такое оборудование обходится значительно дешевле, чем конкурентные системы спреевой кассетной обработки в растворителях.

Главные преимущества

• Продвинутые системы спреевой обработки без распылительных сопел
• Одна или две технологические камеры
• Модели с 2, 4, 6 или 8 баками для реактивов
• Широкий ассортимент роторов
• Контроллер Solaris на базе Windows 7
• Удаленный доступ
• Регистрация данных
• Поддержка протоколов GEM/SECSII
• Значительно более низкие эксплуатационные расходы
• Высочайшая производительность
• Увеличенное время безотказной работы
• Сниженный расход химических реагентов
• Краткий срок обработки
• Меньше дефектов
• Простое управление и эксплуатация
• Доступны версии систем для обработки пластин от 75 до 200 мм

Lift off процесс	Снятие фоторезиста	Удаление полимеров	Очистка пластин	Проявление фоторезиста

Стандартные спецификации SST Trident

• Проверенный временем контроллер Solaris™ на базе Windows 7
• Графический цветной ЖК-дисплей с сенсорным экраном, диагональю 10.4” и 256 цветами
• Полностью регулируемая панель подключения оборудования
• Датчики непрерывного мониторинга уровня реактива
• Электронные расходомеры
• Прозрачная передняя дверь из ХПВХ (хлорированного поливинилхлорида)
• Механический дверной замок
• Возможность обработки пластин до 200 мм, ротор по выбору заказчика
• Модульная система крепления без вибрации
• Цилиндрические баки из нержавеющей стали емкостью 5 галлонов с куполообразным дном
• Проточные нагреватели баков, контактные или бесконтактные
• Бесконтактный удаленный модульный нагреватель N2
• Регулируемые форсунки N2
• Встроенный незабивающийся манифольд деионизированной воды
• Бесщеточный двигатель с прямым приводом
• Аварийное отключение питания, кнопки расположены спереди и сзади
• Система контроля положения ротора с динамической системой остановки процесса
• На выбор пневматические насосы или насосы с электромагнитной муфтой
• Тефлоновые клапаны с пневматическим приводом
• Все оборудование из нержавеющей стали, панели с легким доступом
• Интегрированная система обнаружения/тушения пожара