Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Система жидкостного травления μChem

Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
- Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
- Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
- Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
- Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
- Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
- Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
- Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D.
Корпус устройства изготовлен из полипропилена устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.
Материалы: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF, нержавеющая сталь.
Материал дверцы: полипропилен или PMMA, прозрачный ПВХ
Промывка перчаток
Модуль травления спреем с раскруткой пластины
Модуль групповой обработки пластин
Корзины для переноски пластин
Термостолик
Модуль жидкостной обработки с раскруткой пластины
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, пневматические и электронные компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне системы, распылитель DI-H2O и N2 встроен в рабочую поверхность.
Важно: доступны индивидуальные варианты комплекта компонентов.
Вентили: мембранные, шаровые, различного диаметра.
Помпа: пневматическая помпа из пластика PTFE, опционально - электрические помпы из PVDF.
Корпус фильтра: PFA 10“, опционально PVDF,
Трубки/Фитинги: Трубки из PVDF, PP или PFA диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Пневматика: Festo-Parts, Система PLC, контроль с помощью ПК опционально
Панель управления: сенсорный экран
Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
Фильтрационные или погружные, с регулировкой температуры и без
Корпус устройства изготовлен из полипропилена устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.
КОРПУС
Материалы: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF, нержавеющая сталь.
Материал дверцы: полипропилен или PMMA, прозрачный ПВХ
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ МОДУЛИ
Промывка перчаток
Модуль травления спреем с раскруткой пластины
Модуль групповой обработки пластин
Корзины для переноски пластин
Термостолик
Модуль жидкостной обработки с раскруткой пластины
ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, пневматические и электронные компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне системы, распылитель DI-H2O и N2 встроен в рабочую поверхность.
СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Важно: доступны индивидуальные варианты комплекта компонентов.
Вентили: мембранные, шаровые, различного диаметра.
Помпа: пневматическая помпа из пластика PTFE, опционально - электрические помпы из PVDF.
Корпус фильтра: PFA 10“, опционально PVDF,
Трубки/Фитинги: Трубки из PVDF, PP или PFA диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Пневматика: Festo-Parts, Система PLC, контроль с помощью ПК опционально
Панель управления: сенсорный экран
МОДУЛИ ТРАВЛЕНИЯ
Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
Фильтрационные или погружные, с регулировкой температуры и без