Полуавтоматическая зондовая станция TS2000 IFE

Полуавтоматическая зондовая станция TS2000 IFE предназначена для проведения точных и надежных измерений на постоянном токе и постоянном напряжении. А так же измерений на высокой частоте, тренировки полупроводниковых устройств на пластине – испытаний на термостойкость, на воздействие холода, продолжительные испытания.

Страна-производитель: Россия

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Кремневая фотоника
СВЧ и миллиметровый диапазон
Измерения в температурным диапазоне от -60 до 300°С
Опция IceFreeEnvironment для использования микропозиционеров и проб-карты одновременно даже при отрицательных температурах
Программируемое передвижение микроскопа для большей автоматизации и простоты использования
Возможность сократить длину кабелей для тестирования интегральных схем
Минимальное расстояние между платформой и держателем пластин для измерений в миллиметровом диапазоне и измерений с использованием активных зондовых головок
Тестирование устройств на пленке
Удобная загрузка пластины или одиночного образца через переднюю дверь
Встроенная активная виброизоляция
STM с автоматическим контролем точки росы
Уменьшенный размер установки за счет эргономичного размещения чиллера
Полка для размещения измерительных приборов для уменьшения длины кабелей и увеличения частоты тестирования при функциональном контроле.

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Полуавтоматическая зондовая станция TS2000-IFE с возможностью дооснащения на стороне заказчика в полностью автоматическую зондовую станцию: в комбинации с автоматическим загрузчиком WaferWallet зондовая станция преобразуется из полуавтоматической в полностью автоматическую.

Основные области применения: Load pull, СВЧ-измерения, кремневая фотоника, входной контроль.

	Автоматический загрузчик WaferWallet®MAX Автоматический загрузчик WaferWallet® MAX позволяет сократить время тестирования за счет работы с кассетами под диаметр пластин 100, 150 или 200 мм. Уменьшает время простоя при проведении температурных измерений. Имеет продвинутую систему выравнивания пластины. Позволяет загружать/выгружать пластины из кассеты вне зависимости от температуры держателя пластин.
	Усовершенствованная система выравнивания Боковая и нижняя камера делают TS2000-IFE идеальной установкой для проведения сложных измерений при тестировании СВЧ-устройств и кремниевой фотоники. Опционально доступен считыватель ID пластин
	Изолирующая камера IceFreeEnvironmentTM TS2000-IFE позволяет проводить измерения одновременно с использованием микропозиционеров и проб-карт в широком температурном диапазоне от -60°C до +300°C. Конструкция установки позволяет сократить длину измерительных кабелей, что делает ее идеальным решением для задач СВЧ и/или Load-Pull измерений.
	Температурные держатели пластин Новая серия держателей пластин PRIME 200 мм, обеспечивающих широкий температурный диапазон, сокращение времени стабилизации температуры на 60% и возможность расширения температурного диапазона на стороне заказчика. Управление термической системой осуществляется с помощью интегрированного сенсорного дисплея, расположенного на передней панели установки для индикации и регулировки температуры.
	Интегрированная аппаратная и программная панель управления Аппаратная панель управления зондовой станцией полностью интегрирована в корпус установки и выполнена с учетом пожеланий заказчиков для обеспечения быстрого, безопасного и удобного управления станцией. Клавиатура и мышка имеют удобное расположение для управления установкой. Все операции также могут быть выполнены непосредственно на сенсорном дисплее с помощью программного обеспечения Sentio на базе операционной системы Windows.
	Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3 Держатели пластин фирмы ERS включают запатентованную технологию охлаждения AC3 и систему управления рециркуляцией воздуха для продувки камеры ShieldEnvironment™, что снижает потребление сухого сжатого воздуха до 30-50% по сравнению с аналогичными системами
	Программное обеспечение SENTIO Управление автоматическими зондовыми станциями осуществляется мультисенсорным программным обеспечением SENTIO™, представляющим собой интуитивно-понятный интерфейс, который значительно сокращает время на обучение. За счет использования интерфейса, аналогичного современным мобильным устройствам, даже без специальной подготовки каждый может стать экспертом в короткие сроки. При выполнении высокочастотных измерений нет необходимости переключения между отдельными окнами. Программное обеспечение для высокочастотной калибровки QAlibria™, полностью встроено в SENTIO™ для простоты использования с соблюдением концепции единой системы.
	Зондовые станции предназначены для проведения высокостабильных измерений устройств на пластине и оснащены виброизоляционной платформой, которая сводит к минимуму влияние внешних вибраций. TS2000-IFE предназначена специально для задач с повышенными требованиями к внешним воздействиям. ТБС взаимодействует с ведущими поставщиками оборудования для оптической метрологии, чтобы обеспечить его идеальную интеграцию с зондовой станцией. В результате был разработан высокостабильный оптический кронштейн, на который можно разместит как цифровой микроскоп высокого разрешения MPI iMAG, так и, например, оптический блок для анализа МЭМС-структур. Температурные измерения возможны за счет использования тепловой экранировки, которая блокирует радиацию и исключает влияние внешних помех