Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168

Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168 позволяет измерять сопротивление полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев. Микропроцессор позволяет вычислить слоевое или полное сопротивление, V/I, толщину слоя металлизации и делать тестирование P-N перехода. Электроника и механизм зондов находятся в одном простом корпусе. Прочный корпус из литого алюминия обеспечивает механическую целостность механизма зонда. Механизм зондирования дает постоянное усилие на тестовой головки путем жесткой фиксации в корпусе. В отличии от большинства четырехзондовых и зондовых станций, которые двигают зондовую головку по полупроводниковой пластине, ResMap 168 разработан так чтобы пластина двигалась по зондовой голове. Это обеспечивает постоянное усилие независимо от приложенного усилия оператора и толщины пластины.

Индексатор держателя пластины реализует высокую повторяемость позиционирования зонда на пластине. Механизм подключения делает очень простой замену зондовой головы. Электромагнитные помехи на материалах с высоким сопротивлением минимизированы благодаря внутреннему заземлению шасси. Измерение происходит автоматически как только пластина взаимодействует с иглами зонда. Дополнительные измерения могут быть повторно сделаны, не поднимая крышку, нажав кнопку повторного тестирования . Измерение нормального (прямого) или обратного тока делаются при каждом измерении. Это приводит к автоматической индексации, позволяет избегать ошибок, если наконечники зонда не настроились или чрезмерно изношены. Сомнительные и недействительные тесты отображаются с кодом ошибка.

Усилитель автоматически калибруется для каждого измерения с точностью +/- 0.5% от 5.0 мили Ом до 5 кило Ом. Напряжение тока тестирования непрерывно изменяемо для минимизации помех и максимизации качества сигнала. Толщину слоя или участка необходимые для вычисления сопротивления вводят с помощью клавиатуры в микронах, мильсах или ангстремах. Задается толщина слоя. ResMap 168 так же может составить карту сопротивлений с компенсацией краевых эффектов для тонких полупроводниковых слоев, особенно для тех которые образуются при ионной имплантации.

ResMap 168 позволяет автоматически выбрать тип полупроводника .Сначала запускается корректирующий тест, а затем если необходим термический. Если результаты не устраивают высвечиваются индикаторы для N и для P. Если необходимо прибор может подать короткий импульс с низкой силой тока и высоким напряжением на иглы с целью проникновения сквозь изолирующие слои на тестируемом приборе. Так же возможно проведение проникающего и вводящего теста. В тоже время проникающие тесты могут быть отменены из нутрии или снаружи, если не предумышленно был оказано вредное воздействие на тестируемый прибор.


Свойства ResMap 168: 

• Компактный встраиваемый зонд и дисплей 
•  Микропроцессор с автоматическим регулированием
• Дисплей с четырьмя установками 
– Сопротивление слоя
– Напряжение/ток
– Удельное сопротивление или слоевое с известной толщиной
– Толщина в A, MILS, мкм слоя с известной удельным сопротивлением


• Автоматическое выполнение измерения вперед и назад каждый раз как крышка закрыта
  
• Кнопка RETEST для дополнительного измерения без отвода зонда
  
• Автоматическое сохранение последнего подсчета после сканирования и до следующей операции
  
• Дисплей отображающий ошибки операций, чтения или электроники
  
• Расширенный диапазон измерений  до 450 кило Ом/квс резолюцией до 0,001 милиОМ/SQ
  

• Высокая точность 0.5% на измерения в диапазоне   от 2 до  5  мили Ом. Если вне этого диапазона  +/- 8.0% 

• Автоматическая проверка неисправности 
  

• Самокалибруемая схема обеспечивающая высокую точность
  

• Индексирующий держатель подложки позволяющий делать процесс повторяемым
  

• Повторяемость зондирования не зависит от силы оператора и толщины подложки
  

• Встроенная RFI и световая защиты для измерений высоких сопротивлений
  

• Подключение адаптера зонда делает смену зондовой головки очень простой
  

• Режим ввода N и P типов для большинства полупроводниковых подложек  или слоев
  

• Режим проникновения обеспечивает высокую энергию импульса проникающие через диэлектрические слои и позволяющие снимать показатели
  

• Возможность отключить режим проникновения
  

• Автоматический подсчет поправочных коэффициентов для компенсации колебания зонда  

Параметры электрических подключений:
 ResMap 168 требует 115/230 VAC +/- 10%, 50/60 Гц, 30 ватт

Уровень геометрической коррекции:
Основан на двузондовой технологии. Отображается если рассчитанная геометрическая коррекция между 4.18 и 4.82. Если рассчитанное показание выше или ниже на дисплее высвечивается: SHEET, SLICE, and THICK.

Конфигурация:
Материал пластин: кремний (Si). Размер пластин: 6 дюймов
Слои: SiO2, Al, Ti, NiCr

Параметр	Величина
Загрузка пластин	Автозагрузка из кассет
Максимальный диаметр пластин	8,2”
Максимальный размер квадратных пластин	5,8” x 5,8”; 156 мм x 156 мм
Типичное время измерения	1 сек. на точку
Максимальная производительность	1 минута на пластину (49 точек)
Диапазон измерения удельного поверхностного сопротивления	2 мОм/кв – 5 МОм/кв (может быть расширен до 1 мОм)
Воспроизводимость (1σ, обычно)	≤ ± 0,02 % (статическая или набор Rs); ≤ ± 0,1 % (динамическая - по соседним точкам)
Точность	≤ ± 0,5 %, при использовании ResCal - поверочных стандартов NIST
Размер непроверяемой зоны	1,5 мм (от центра зонда до края пленки)
Компьютерная система	Класс Pentium®4; Windows XP Home (дисплей не включен в поставку)
Опция SECS-II	Доступна
Схемы картирования	полярное картирование (ориентация по метке / срезу); прямоугольное картирование (выборка поля внутри за исключением краев); сканирование по линии (диаметр, радиус или любая точка, на диаметре, минимальный шаг 0,1 мм); определенная пользователем матрица точек.
Построение диаграмм	изолинейных (выбор интервала, 1/3 σ, фиксированных и автопроцентованных); трехмерных; линейных; карт данных; гистограмм; последовательностей данных; радиальных и угловых распределений; доступно построение карт трендов различных типов.
Данные	Все файлы данных могут быть перенесены для дальнейшего анализа в такие программы, как Excel.
Инженерное обеспечение
Электропитание	(100 – 240) В, 50 Гц, <10 кВА
Размер Ш x Д x В, дюймы	12” x 19” x 10”