Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Cистема четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 178
Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления предназначена для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев
Производитель: CDE
Страна-производитель: США
Основные возможности:
- ручной загрузки пластин диаметром от 2” до 8”, а также кусков пластин
- измерения удельного поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
- автоматического перемещения четырехзондового пробника по точкам измерения на поверхности пластины для картирования распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
- построения карт распределения удельного поверхностного сопротивления на поверхности пластины и получения данных для обработки в Excel
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Параметр | Величина |
Загрузка пластин |
Автозагрузка из кассет |
Максимальный диаметр пластин |
8,2” |
Максимальный размер квадратных пластин |
5,8” x 5,8”; 156 мм x 156 мм |
Типичное время измерения |
1 сек. на точку |
Максимальная производительность |
1 минута на пластину (49 точек) |
Диапазон измерения удельного поверхностного сопротивления |
2 мОм/кв – 5 МОм/кв (может быть расширен до 1 мОм) |
Воспроизводимость (1σ, обычно) |
≤ ± 0,02 % (статическая или набор Rs); ≤ ± 0,1 % (динамическая - по соседним точкам) |
Точность |
≤ ± 0,5 %, при использовании ResCal - поверочных стандартов NIST |
Размер непроверяемой зоны |
1,5 мм (от центра зонда до края пленки) |
Компьютерная система |
Класс Pentium®4; Windows XP Home (дисплей не включен в поставку) |
Опция SECS-II |
Доступна |
Схемы картирования |
|
Построение диаграмм |
|
Данные |
Все файлы данных могут быть перенесены для дальнейшего анализа в такие программы, как Excel. |
Инженерное обеспечение | |
---|---|
Электропитание |
(100 – 240) В, 50 Гц, <10 кВА |
Размер Ш x Д x В, дюймы |
12” x 19” x 10” |