|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Платформа для временного сращивания пластин Suss XBS300
Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин
Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
- Работает со всеми доступными адгезивами
- Разработка процесса и производство на одном устройстве
- Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
- Полностью автоматическая платформа
- До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
- До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
- Измерение толщины пластины
- Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Решение для временного сращивания пластин, для процессов 3D-интеграции в производстве логических устройств и устройств памяти.
XBS300 поддерживает все ключевые шаги процессов временного сращивания: формирование разделительного слоя (нанесение и/или плазменное осаждение), адгезионное покрытие, сращивание пластин с низким усилием, УФ- или тепловое отверждение и охлаждение. Благодаря гибкой конфигурации система XBS300 может обрабатывать все имеющиеся на рынке адгезивы для временного сращивания пластин.
К раме системы XBS300 можно напрямую подключить до 2 модулей загрузочных портов. С помощью отдельного модуля EFEM установку сращивания можно оснастить макс. 4 портами. Модули загрузочных портов имеют опцию картирования пластины и считывания идентификатора РЧ и способны обрабатывать стандартные устройства FOUP или FOSB 300 мм, а также пластины 200 мм и адаптеры кассет.
Система перемещения установки XBS300 основана на надежном высокоскоростном шестикоординатном роботе со встроенной опцией переворота пластины. Совмещение пластин осуществляется с помощью поворотной установки совмещения с камерой, которую можно сочетать с ID-считывателем.
Принцип GYRSET позволяет добиться однородного покрытия на пластинах 200/300 мм с минимальным расходом материала. Во время нанесения процесс вращения с закрытой крышкой создает уникальную безвихревую среду, которая эффективно препятствует загрязнению обратной стороны.
Этажерочный модуль можно объединить с 4 рабочими камерами или с 7 кассетами охлаждающих или нагревательных плит. Рабочие камеры, нагревательные и охлаждающие плиты можно объединить в одном этажерочном модуле для выполнения требований процесса.
Встроенная станция измерения
толщины состоит из 2 ультравысокоточных лазерных датчиков смещения, которые
анализируют верхнюю и нижнюю поверхность пластины для расчета её толщины. Многоточечное
измерение выполняется с помощью сканирования по площади пластины. Номера точек измерений для пластин со сформированными
приборами, опорной подложки и сэндвича программируются с помощью ПО.
|
Вам необходимо |
Решения XBS300 |
|---|---|
| Гибкость процесса |
|
| Производственные возможности |
|
| Низкие эксплуатационные затраты |
|
Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин. Платформу для работы с пластинами 200 / 300 мм можно конфигурировать для уменьшения эксплуатационных издержек и максимального увеличения гибкости процесса.
XBS300 поддерживает все ключевые шаги процессов временного сращивания: формирование разделительного слоя (нанесение и/или плазменное осаждение), адгезионное покрытие, сращивание пластин с низким усилием, УФ- или тепловое отверждение и охлаждение. Благодаря гибкой конфигурации система XBS300 может обрабатывать все имеющиеся на рынке адгезивы для временного сращивания пластин.
Выбор поддерживаемых систем: Brewer Science ZoneBOND*, Dow Corning, Dow Electronic Materials, HD DuPont, Thin Materials (TMAT) и другие поставщики.
Модуль ввода/вывода (I/O)
К раме системы XBS300 можно напрямую подключить до 2 модулей загрузочных портов. С помощью отдельного модуля EFEM установку сращивания можно оснастить макс. 4 портами. Модули загрузочных портов имеют опцию картирования пластины и считывания идентификатора РЧ и способны обрабатывать стандартные устройства FOUP или FOSB 300 мм, а также пластины 200 мм и адаптеры кассет.
Интеграция в рабочий процесс
Система перемещения установки XBS300 основана на надежном высокоскоростном шестикоординатном роботе со встроенной опцией переворота пластины. Совмещение пластин осуществляется с помощью поворотной установки совмещения с камерой, которую можно сочетать с ID-считывателем.
Модуль нанесения методом центрифугирования
Принцип GYRSET позволяет добиться однородного покрытия на пластинах 200/300 мм с минимальным расходом материала. Во время нанесения процесс вращения с закрытой крышкой создает уникальную безвихревую среду, которая эффективно препятствует загрязнению обратной стороны. | Спиральное распыление на модуле GYRSET для получения оптимальной однородности нанесения |
Этажерочный модуль для рабочих камер, нагревательных и охлаждающих плит
Этажерочный модуль можно объединить с 4 рабочими камерами или с 7 кассетами охлаждающих или нагревательных плит. Рабочие камеры, нагревательные и охлаждающие плиты можно объединить в одном этажерочном модуле для выполнения требований процесса.
Встроенные измерения
Встроенная станция измерения
толщины состоит из 2 ультравысокоточных лазерных датчиков смещения, которые
анализируют верхнюю и нижнюю поверхность пластины для расчета её толщины. Многоточечное
измерение выполняется с помощью сканирования по площади пластины. Номера точек измерений для пластин со сформированными
приборами, опорной подложки и сэндвича программируются с помощью ПО.| Общие характеристики | |
|---|---|
| Размер подложки | пластины 200 / 300 мм; совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм) |
| Загрузочный порт | Полностью автоматический загрузочный порт FOUP, FOSB со встроенным считывателем идентификатора РЧ, адаптер кассет и пластин 200 мм |
| Перемещение пластин | Шестикоординатный робот со встроенной функцией переворота пластин, установка предварительного совмещения с камерой, дополнительный ID-считыватель для пластин |
| Пользовательский интерфейс | ОС Windows XP с ПО SUSS MMC, сенсорный экран и клавиатура с указывающим устройством |
| Обработка подложек | Полностью программируемое кластерное устройство с опциями производственной автоматизации |
| сертификаты | Semi S2 и S8 |
| SC300 – модуль нанесения | |
| Основной модуль | Запатентованный модуль нанесения GYRSET с держателем с закрытой крышкой |
| Контроль скорости вращения | ± 1 об/мин с цифровым контроллером двигателя |
| Линий распыления |
до двух рук до трех 3 линий для подачи адгезива с опцией контроля температуры адгезива для рук подачи адгезива до трех линий проявителя для рук проявления (такие как подача растворителя, EBR и очистки держателя) |
| Опции | широкий выбор насосов и систем распыления, удаление наплыва резиста с кромки и промывка обратной стороны, расходомеры |
| PL300T – Модуль плазменного осаждения | |
| Основное устройство | Вакуумная камера для процесса плазменного осаждения |
| Газы | запатентованный газ TMAT, O2, до 2 чистящих газов |
| Газовые контроллеры | 4 MFC |
| Источник плазмы | внутренний генератор, 13.56 МГц |
| Настройка | автоматическая |
| Контроль температуры держателя | охлажденная вода |
| Доступ к камере | VAT-дверца с продувкой N2 |
| Этажерочный модуль - рабочая камера, нагревательная и охлаждающая плиты | |
|
Рабочая камера |
|
| Процессы сращивания |
Настройка A: ультранизкое усилие (на основе кремния и УФ-отверждаемых адгезивов) Настройка Б: термокомпрессионное сращивание с низким усилием |
| Температура LF300 | до 250 °C |
| Мин. базовый вакуум | < 5 мбар |
| Вакуумирование | < 60 сек |
| Сила сращивания (при 300мм) |
Настройка A: 20 Н - 500 Н
Настройка B: 300 Н - 8 кН |
| Технологический газ | Стандартно N2, дополнительно 1 MFC |
| Совмещение | Межцентровое совмещение +/- 50 мкм Вращение бороздки 0.1° |
| Кол-во камер | до 4 камер LF300 на модуль |
| Тип камеры | Герметичная камера с вытяжкой N2 |
|
Нагревательная плита |
|
| Температура нагревательной плиты |
до 250 °C
опция: до 350 °C |
| Стабильность температуры |
± 0.4 °C до 120 °C
± 1 % > 120 °C |
| Способ спекания | Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором |
|
Охлаждающая плита |
|
| Температура охлаждающей плиты | от 15 до 30 °C |
| Контроль температуры | ± 0.2 °C |
| Способ охлаждения | Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором |
| Измерения | |
| Измерение толщины | Лазерные датчики |
| Точность измерения | < 0.2 мкм |
| Кол-во точек измерения | Многоточечное, программируется |
| Опции | |
| Очистка воздуха |
Фильтрующие блоки Ионизаторы Автономная чистая комната |
|
Коммуникации |
|
| Вакуум | мин. -0.8 бар, +/-5 % |
| Сжатый сухой воздух | 8 бар, +/-10 % |
| Азот | 8 бар, +/-10 % |
| Питание | Зависит от конфигурации |
Оборудование для полного цикла производства
SUSS ACS300 Gen2
SUSS ACS300 Gen2 – это модульная ...
SUSS MA300 Gen2
Высокоавтоматизированная ...
Suss XBC300 Gen2
Платформа XBC300 Gen2 компании ...
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте