Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
SUSS Delta 12AQ
Полуавтоматическая система для жидкостной обработки Delta 12AQ от компании SUSS MicroTec обеспечивает превосходные возможности промывки и проявления при работе с водно-щелочными материалами. Рабочая платформа обслуживает заготовки и полупроводниковые пластины размером до 300 мм, квадратные подложки размером до 230 мм x 230 мм и рамки с лентой размером до 300 мм.
В результате обновления линейки оборудования SUSS MicroTec, взамен популярной Delta12AQ поставляется улучшенная модель SUSS AD12
Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Водно-щелочное проявление
- Очистка пластин
- Полупроводниковые пластины до 300 мм
- Подложки до 230 мм x 230 мм
- Пластины размером до 300 мм, установленные на ленту-носитель с фиксирующей рамкой
- Веерное распыление
- Налив растворов лужей
- Высоконапорные сопла
- Бинарные сопла
- Ультрозвуковой преобразователь
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта