Нагревательная плита для высокоточной сушки фоторезиста HP 300 Z

Нагревательная плита HP-300-Z предназначена для процессов первой и второй сушки фоторезиста в области литографии, производства МЭМС и других подобных процессов. Температурный предел по умолчанию составляет 300°C. Начальная температура и температурная кривая имеют узкие допуски, что позволяет добиться высокого качества покрытия. Устройства серии НP демонстрируют прекрасные рабочие характеристики благодаря высокой равномерности и стабильности процессов. Они могут использоваться с подложками диаметром до 300 мм и толщиной до 20 мм. В стандартном исполнении плита оснащена датчиками нагрузки и расстояния, что позволяет обрабатывать до пяти подложек одновременно (до 100 мм).

В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной HP 401 поставляется улучшенная модель Sawatec HP 300

Производитель: Sawatec

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Контроль температуры с цифровым отображением целевого и фактического значения
Функция быстрого запуска для проведения повторяющихся процессов
Автоматическое реле температуры, защита от перегрева
Поэтапный нагрев (до 20 значений)
Датчики нагрузки и расстояния для работы с подложками разных размеров
Программируемая кривая нагрева, максимум 10°C в мин. (25°-300°С)
Программируемая кривая охлаждения, максимум 5°C в мин. (300°-40°С)
Нагревательная плита с мультизонным нагревом (16 зон) и защитным стеклом, простая чистка
Простое выравнивание нагревательной пластины, предупреждение стекания фоторезиста
Интуитивно понятное управление при помощи тач-экрана
Ручная фиксация подложек с помощью вакуума
Ручная загрузка и разгрузка подложек

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта