Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4

Нагревательная плита для высокоточной сушки фоторезиста HP 300 Z

Швейцария
  • картинка

Нагревательная плита HP-300-Z предназначена для процессов первой и второй сушки фоторезиста в области литографии, производства МЭМС и других подобных процессов. Температурный предел по умолчанию составляет 300°C. Начальная температура и температурная кривая имеют узкие допуски, что позволяет добиться высокого качества покрытия. Устройства серии НP демонстрируют прекрасные рабочие характеристики благодаря высокой равномерности и стабильности процессов. Они могут использоваться с подложками диаметром до 300 мм и толщиной до 20 мм. В стандартном исполнении плита оснащена датчиками нагрузки и расстояния, что позволяет обрабатывать до пяти подложек одновременно (до 100 мм).


В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной HP 401 поставляется улучшенная модель Sawatec HP 300

Производитель: Sawatec
Страна-производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Контроль температуры с цифровым отображением целевого и фактического значения
  • Функция быстрого запуска для проведения повторяющихся процессов
  • Автоматическое реле температуры, защита от перегрева
  • Поэтапный нагрев (до 20 значений)
  • Датчики нагрузки и расстояния для работы с подложками разных размеров
  • Программируемая кривая нагрева, максимум 10°C в мин. (25°-300°С)
  • Программируемая кривая охлаждения, максимум 5°C в мин. (300°-40°С)
  • Нагревательная плита с мультизонным нагревом (16 зон) и защитным стеклом, простая чистка
  • Простое выравнивание нагревательной пластины, предупреждение стекания фоторезиста
  • Интуитивно понятное управление при помощи тач-экрана
  • Ручная фиксация подложек с помощью вакуума
  • Ручная загрузка и разгрузка подложек

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх