Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Sawatec LSM-200
Центрифуги LSM-200 являются оптимальным выбором для процессов полуавтоматического нанесения тонких слоев. Они используются для подложек с очень низкими поверхностными структурами или без них. Все коммерческие фоторезисты и покрывающие материалы наносятся однородно и равномерно на поверхность полупроводниковых пластин размером до 200 мм (8 дюймов) или подложки 150х150 мм.
В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной LSM-200 с марта 2016 года поставляется улучшенная модель Sawatec SM-200
Производитель: Sawatec
Страна-производитель: Швейцария
Основные возможности:
- Sawatec SM-200 (LSM-200)
- Обрабатывает пластины до 200 мм (8") или квадратные подложки до 150х150 мм (6х6")
- Фиксация подложки вакумом с блокировкой мотора при потере вакуума
- Легкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов
- Блок для процессов сделан модульным, что позволяет легко проводить очистку
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта