Idonus SMA

Установка совмещения SMA. Напыление слоев металла в вакууме через маску.

Осаждение тонких пленок через маску это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.

Производитель: Idonus

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Вакуумный держатель пластин
Вакуумный держатель масок
Простой механизм фиксации пластин
Антивибрационный держатель для PVD
Идеальна для различных размеров пластин
Не требует инсталляции
Низкие расходы на запуск

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Видеопрезентация

Общая информация

Осаждение тонких пленок через маску это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.

Компания Idonus предлагает высокоточную систему совмещения маски с пластиной. Оборудование обеспечивает высокую повторяемостью результата. Система оборудована специальным антивибрационным держателем. Используя микроскоп можно добиться точности совмещения в 6 микрон. После совмещения держатель может быть помещен в вакуумную камеру PVD.

После осаждения маска может быть отделена от пластины, разъединив крепление держателя, далее маску можно использовать повторно. Могут быть поставлены держатели под разные размеры пластин и масок.

Схема

Изображение системы для пластин 100 мм с держателем готовым к совмещению

Схема держателя

Изображение установки подготовленной к загрузке пластины.
Нижняя часть отодвинута для загрузки пластины в нижний держатель (маска не загружена на изображении)

Блок распределения воздуха.

Блок распределения вакуума для индивидуального переключения и регулировании вакуума на различные держатели.

Оборудование для полного цикла производства

Idonus SMA микроскоп

Цифровой микроскоп с ...