ОБОРУДОВАНИЕ

ПРОИЗВОДИТЕЛИ

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761

Получить информационную брошюру

Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, “Lift-off” и напыление диэлектриков все это – может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761

Производитель: Evatec

Страна-производитель: Швейцария

Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Электронно-лучевая пушка до 3-х
Резистивные испарители
Магнетронные и плазменные источники
Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
Плазменная очистка тлеющим разрядом

Инжиниринговые услуги:

Станция водоподготовки Монтаж газовых линий Система бесперебойного электропитания

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации
Видеопрезентация
Скачать

Контроль процесса:

ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Кварцевый и оптический мониторинг

Анализатор остаточного газа

Оптическая пирометрия

Полная SECS GEM совместимость

Геометрия вакуумной камеры:

Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков

Увеличенная дистанция – для Lift-off

Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания

Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

Стандартные сферические

С возможностью переворота

Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения

Разработка спец оснастки

Производительность с различными типами подложкодержателей

Split Systems – Техническое решение компании Evatec

система вакуумного напыления Evatec

Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.

Основные возможности:

Высокая стабильность работы испарителя

Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением

Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды

Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание

Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)

				Равномерности
Система	Пленка	Толщина [нм]	Скорость [нм/с]	По пластине [%]	Пластина к пластине [%]	Между процессами [%]
BAK	Cu	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	NiCr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Cr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Ti	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Al	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Ag	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Au	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%
	Cr	100	По требованию заказчика	+/-5%	+/-5%	+/-5%

Автозагрузка

Планетарное вращение подложкодержателей

BAK_overview
(pdf, 2.84 МБ)