Полностью автоматическая зондовая станция TS2500

Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте

Страна-производитель: Россия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Измерения на высокой частоте до 67 ГГц и 4-портовая топология
Одновременные измерения на постоянном токе DC-IV / постоянном токе и постоянном напряжении / Pulsed-IV
Обеспечиваемая надежность - 24/7
Простая фронтальная загрузка одной пластины
Большой зондовый стол с максимум 4х ВЧ микопозиционерами или стандартным 4.5” держателем проб-карт
Двойная рука робота и встроенное приспособление для предварительного совмещения для обеспечения высокой степени производительности
Обеспечиваются различные функции держателей и большой выбор оснастки
Стандартная камера для внеосевого совмещения полупроводниковой пластины
Дополнительная камера держателя для верхнего обзора при совмещении зонда и платформы
Специальная функция для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации
Комплектующие

Обработка тонких полупроводниковых пластин

Уникальная конструкция держателей и штифтов подъема пластины станции TS2500-RF обеспечивает безопасную работу с пластинами толщиной до 50 мкм позволяя, таким образом, выполнять тестирование тонких сложных пластин AIII-BV пластин.

RF-держатели включают два дополнительных держателя, выполненных полностью из специального керамического материала для точной RF калибровки. Дополнительные держатели также могут использоваться для размещения пластины для чистки щупов зондовых головок. Также доступны термодержателиS

			Высокая производительность Автоматическая работа заключается в использовании двойных рук роботов, соединенных с двойными кассетными держателями полупроводниковых пластин, имеющих размер 150 или 200 мм, обеспечивая, таким образом, высокую эффективность замены полупроводниковых пластин и высокую скорость выполнения измерений. Станция TS2500-RF может достигать максимальной скорости тестирования 10 кристаллов/секунду (в зависимости от окончательной конфигурации станции), которая и делает ее прекрасным выбором для производственных электрических измерений как дискретных RF устройств, так и интегральных схем (IC).
			Предварительное совмещение Функции предварительного выравнивания, такие как внеосевое совмещение и установленные над держателем пластин видеокамеры делают зондовую станцию TS2500-RF идеальной платформой для проведения RF-измерений сложных конфигураций.

Технические характеристики

Держатель по оси XY (программируемый)

Длина хода	298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов)
Разрешение	0.1 мкм
Точность	± 4.0 мкм
Повторяемость	± 2.0 мкм

Держатель по оси Z (программируемый)

Длина хода	16 мм (0.6 дюймов)
Разрешение	0.2 мкм
Повторяемость	± 1.0 мкм

Держатель по углу (программируемый)

Длина хода	± 5.0°
Разрешение	0.00125°
Точность	3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм