Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Ручная зондовая станция TS150
Зондовая станция TS 150 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности
Основные возможности:
- Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
- Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
- Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Функции и преимущества Платформа с пневматическим подшипником Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и в диапазоне 25 x 25 мм. |
Уникальный механизм подъема платформы
Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µm) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µm) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью. |
Регулировочная шкала по высоте
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы. |
Компактная и жесткая конструкция платформы
Компактная и жесткая конструкция платформы обеспечивает размещение до десяти микропозиционеров для измерений на постоянном токе и до четырех высокочастотных. |
Различные держатели пластин
Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания ТБС предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°C |
Дополнительные держатели (для калибровочных пластин) |
Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов |
Откидывание микроскопа |
Антивибрационная платформа |
Светоизоляционный корпус Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе. |
Станции TS150 просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности
Обзор зондовых станций TS150, TS200
Платформа на пневматическом подшипнике.
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.
...
...