|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Ручная зондовая станция MPI TS200SE
TS200-SE зондовая станция
Зондовая станция TS200-ShieldEnvironment™ (TS200-SE) разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности
Страна-производитель: Россия
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
|
ShielDEnvironment™ ShielDEnvironment™ представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. |
|
ShielDCap™
Полностью конфигурируемая часть камеры ShielDEnvironment™, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное ShielDCap™ облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт. |
|
Передвижение держателя стола на воздушной подушке Станция TS200-SE имеет ту же уникальную конструкцию держателя с передвижением на воздушной подушке как у всех ручных станций TS150, TS200, TS300 c простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. Кроме того станция имеет уникальное передвижение (подъем платформы) по оси Z. . |
|
Уникальный фиксатор платформы в положении «контакт» Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, перемещения (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость. Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками.
|
| Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками. |
|
Высота подъема держателя по оси Z при загрузке Дополнительно к перемещению держателя пластин на воздушной подушке по оси XY возможность подъема по оси Z на 5 мм, с разрешением в микрометровом диапазоне для точного контакта и глубины вхождения в контакт щупов зондовой головки
Указатель со шкалой 1 мм для удобства работы оператора.
|
| Дополнительный пневматический подъемник 20 мм для легкой загрузки/разгрузки пластины |
|
Держатели полупроводниковых пластин Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высокочастотной калибровки; Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для температурного диапазона от -60°С до +300°С |
||
|
Встроенный терморегулятор Дверца для загрузки пластин легко блокируются при температуре ниже 15°C – данная уникальная характеристика делает ручную зондовую станцию TS200-SE одной из самых безопасных на рынке.
|
|
Более того, управлять температурным держателем пластин легко при помощи встроенного сенсорного дисплея терморегулятора, расположенного перед оператором |
|
Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3 |
| Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке. |
|
Микроскоп и оптика |
| Компания ТБС предлагает широкий ассортимент оптических устройств – от монокулярных микроскопов SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. |
Зондовые головки
Микропозиционер MP25
Микропозиционер MP40
Микропозиционер MP50
Микропозиционер MP60
Микропозиционер MP60-MR
Микропозиционер MP80
Микропозиционер MP80-DXОбзор зондовых станций TS150, TS200
Платформа на пневматическом подшипнике.
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.
Оборудование для полного цикла производства
...
...
Рекомендуем к прочтению
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте