|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Ручная зондовая станция MPI TS200SE
TS200-SE зондовая станция
Зондовая станция TS200-ShieldEnvironment™ (TS200-SE) разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности
Страна-производитель: Россия
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
|
ShielDEnvironment™ ShielDEnvironment™ представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения. |
|
ShielDCap™
Полностью конфигурируемая часть камеры ShielDEnvironment™, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное ShielDCap™ облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт. |
|
Передвижение держателя стола на воздушной подушке Станция TS200-SE имеет ту же уникальную конструкцию держателя с передвижением на воздушной подушке как у всех ручных станций TS150, TS200, TS300 c простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. Кроме того станция имеет уникальное передвижение (подъем платформы) по оси Z. . |
|
Уникальный фиксатор платформы в положении «контакт» Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, перемещения (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость. Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками.
|
| Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками. |
|
Высота подъема держателя по оси Z при загрузке Дополнительно к перемещению держателя пластин на воздушной подушке по оси XY возможность подъема по оси Z на 5 мм, с разрешением в микрометровом диапазоне для точного контакта и глубины вхождения в контакт щупов зондовой головки
Указатель со шкалой 1 мм для удобства работы оператора.
|
| Дополнительный пневматический подъемник 20 мм для легкой загрузки/разгрузки пластины |
|
Держатели полупроводниковых пластин Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высокочастотной калибровки; Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для температурного диапазона от -60°С до +300°С |
||
|
Встроенный терморегулятор Дверца для загрузки пластин легко блокируются при температуре ниже 15°C – данная уникальная характеристика делает ручную зондовую станцию TS200-SE одной из самых безопасных на рынке.
|
|
Более того, управлять температурным держателем пластин легко при помощи встроенного сенсорного дисплея терморегулятора, расположенного перед оператором |
|
Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3 |
| Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке. |
|
Микроскоп и оптика |
| Компания ТБС предлагает широкий ассортимент оптических устройств – от монокулярных микроскопов SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. |
Зондовые головки
Микропозиционер MP25
Микропозиционер MP40
Микропозиционер MP50
Микропозиционер MP60
Микропозиционер MP60-MR
Микропозиционер MP80
Микропозиционер MP80-DXОбзор зондовых станций TS150, TS200
Платформа на пневматическом подшипнике.
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.
Оборудование для полного цикла производства
Rohde&Schwarz ZNB
Более 60 лет опыта работы ...
Rohde&Schwarz ZVA
Анализаторы цепей серии ...
Рекомендуем к прочтению
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте