Зондовая станция TS200-THZ

Пневматическая платформа

Конструкция платформы держателя пластин на пневматическом подшипнике обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой, обеспечивая, таким образом, быстрое перемещение по осям XY и загрузку пластины без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращением (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

Уникальный механизм подъема платформы

Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1 мкм) ручной зондовой станции TS200-THZ имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины, обеспечивая интуитивное управление, точное размещение контакта и безопасную установку. Эта функция особенно важна для высокочастотных измерений в миллиметровом диапазоне и субтерагерцовом диапазоне частот (100 ГГц – 10 ТГц). Дополнительно этот механизм обеспечивает подъем  платформы на 50, 100 или 150 µm для быстрого и удобного выравнивания щупа головки по отношению к контактной площадки.

Высокоточная регулировка держателя пластин по оси Z зондовой станции TS200-THZ с шагом 10 мм обеспечивает возможность использования различных частотных расширителей, например, производства компаний Rohde & Schwarz, VDI или OML.

Конфигурации микропозиционеров

Специализированная и жесткая конструкция платформы позволяет разместить два микропозиционера MP80 (восток-запад) с большой площадью крепления для адаптеров расширения частотного диапазона. Станция разработана для четырехпортовых высокочастотных измерений или смещения при помощи двух мостов «север» и «юг».

MP80-DX

Микропозиционеры MP80-DX обладают высокопрецизионным определением до 1 мкм значения Δl и предназначены для точной калибровки TRL, которая представляет собой технологию высокочастотной калибровки в миллиметровом и суб-терагерцовом диапазоне. 

Станция TS200-THZ оснащена различными держателями полупроводниковых пластин, которые удовлетворяют различные требованиях, предъявляемые как к бюджету, так и измерениям: • Стандартные держатели для высокочастотных измерений с разъемом BNC, • Специализированные держатели для измерений в миллиметровом диапазоне, полностью встроенные в специальный керамический материал с высокотемпературной проводимостью (>180W/Km), или  • Держатели для высокочастотных измерений с воздушным охлаждением ERS (для температурного диапазона от 20°C до 200°C или выше) с интегрированной позолоченной верхней поверхностью и небольшими отверстиями для подачи вакуума. Все держатели имеют два дополнительных держателя калибровочных подложек, встроенные в керамический материал для выполнения прецизионной высокочастотной калибровки, особенно в диапазоне выше 40 ГГц.

Микроскоп и оптика

Компания ТБС предлагает широкий ассортимент оптических устройств– от монокулярных микроскопов  SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм. Низкий коэффициент этих микроскопов соответствует требованиям, предъявляемым к высокочастотным измерениям и измерениям в миллиметровом диапазоне, благодаря пространственным ограничениям, характерным для интеграции частотных удлинителей, которые требуют малые расстояния до тестируемого объекта.

Интеграция частотных расширителей

TS200-THZ включает совершенно новую конструкцию для интеграции частотных расширителей. Чтобы свести к минимуму расстояние до испытуемого устройства и обеспечить наилучшую возможную направленность измерения, производитель представил новую концепцию, которая наводит расширитель на всю пластину диаметром 200 мм. При переключении между различными полосами в конструкцию встроена защита от сбоев, для большей безопасности.